中古 PSK TERA 21 #9351451 を販売中

PSK TERA 21は産業および実験室の適用のために設計されているエッチングおよびashing装置です。このシステムは、さまざまなユーザーのニーズを満たすように設計された多種多様な機能を備えています。TERA 21に2つの水晶ハロゲン光源が装備されている大きい部屋があります、1200°C。の温度まで制御可能。チャンバードアには水平に1つの水晶ハロゲンランプを配置し、チャンバ内に一時的な均一性を作り出します。ユニットはまた、チャンバ全体に均質なエッチングを保証する完全に自動化されたカバレッジ均一性メカニズムを備えています。PSK TERA 21は、ユーザーフレンドリーでプログラム可能なように設計されています。直感的なユーザーインターフェイスを備えており、事前に定義されたセットポイントにアクセスできるだけでなく、カスタムレシピを作成する機能も備えています。また、処理温度、圧力、その他の環境条件など、さまざまなパラメータを備えたリアルタイム監視機能を備えています。このツールはまた、統合されたクォーツウェーハボートを備えており、ウェーハの簡単なロードとアンロードを可能にします。TERA 21にはロードロック設計もあり、プロセスを完了するのにかかるコストと時間を削減するのに役立ちます。チャンバーはステンレススチール製で、室内外の温度を均一にすることができます。このアセットは、単一のリアクタと複数のリアクタ構成の両方をサポートしているため、異なるウェーハを同時に処理できます。PSK TERA 21は、クローズドループ水再循環システムや空気圧縮機などの追加アクセサリの接続も可能です。TERA 21は産業および実験室の適用のための理想的なエッチングおよびashingモデルです。それはユーザーフレンドリーであり、精密で、信頼できる結果を提供するように設計されています。直感的なユーザーインターフェイスと自動化された機能により、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスに適しています。