中古 PSK TERA 21 #9270662 を販売中

PSK TERA 21は、半導体材料の精密エッチングとアッシングを可能にするように設計されたエッチャー/アッシャーです。これは、選択性、高精度、低圧エッチング、および詳細なプラズマアッシングなど、幅広いプロセス機能を提供するコンピュータ制御機器です。これは、高度な半導体製造のニーズを満たすように特別に設計されています。システムには13.56MHz送信機と受信アンテナ30MHz-400MHz装備されています。これは、基板上の材料をエッチングするために必要なRF電力を提供します。このアンテナは受信機としても機能し、エッチング反応を監視するために使用される出力信号を提供します。エッチングプロセスは、PC/SCベースのソフトウェアを介して監視および制御され、エッチングパラメータを調整して所望の結果を得ることができます。このユニットは独立したプラズマソースを備えており、エッチングの選択性とプロセスの最適化を可能にします。また、独立したガス供給機を備えており、エッチング媒体を正確に制御することができます。このツールはまた、統合されたロードロックを備えており、サンプルの双方向ローディングを可能にし、全体的なサイクル時間を短縮します。アセットには自動化されたプロセスモニタリングモデルがあり、重大になる前にプロセスドリフトを検出できます。これにより、プロセスの一貫性と信頼性を確保できます。この装置の内蔵ロードロックにより、プロセス段階間の高速ウェーハ転送が可能になり、手動制御オプションにより、手動操作の柔軟性が向上します。このシステムは、1mTorrのような低圧でエッチングプロセスを実行することができます。これにより、最も繊細な材料でも歪みを最小限に抑えてエッチングすることができ、高精度なエッチング結果が得られます。また、統合されたプロセス検証機能を備えており、プロセスの再現性と信頼性を保証します。全体として、TERA 21は半導体製造に理想的なエッチャー/アッシャーであり、精密エッチング、アッシング、および詳細なプラズマ処理を提供します。高度な機能、使いやすさ、信頼性を兼ね備えているため、半導体材料の精密エッチングとアッシングに最適です。