中古 PSK TERA 21 #9259689 を販売中
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ID: 9259689
Asher, 12"
(2) Chambers
EFEM
Transfer Module (TM)
Process Module (PM)
AC Rack
Cables
2004 vintage.
PSK TERA 21は、市場で入手可能な最も先進的なエッチャー/灰の1つです。これは、微細かつ超微細な機能を開発するためのケミカルエッチングおよびアッシングプロセスのための革新的なソリューションです。小型フットプリントにより大量生産が可能です。TERA 21は、高い熱安定性、高速エッチング、精密な圧力と温度制御によるアッシングなど、幅広いプロセス強化機能を備えており、高速サイクルタイムと再現可能な結果を実現する信頼性の高い方法を提供します。このシステムは、ストレスフリーの真空オーブンチャンバー設計と、精度と精度で材料をエッチングしてアッシュすることができるマルチゾーン温度制御を備えています。すべての設定、パラメータ、レシピ、プロセスは、信頼性の高い効率的なエッチングのために数分で事前に作成して再利用できます。エッチングされた表面の酸化や汚染を防ぐために、不活性ガスのバックフィリングと高温を使用しています。エッチャー/アッシャーは、特殊なガス洗浄機を使用して、過度に酸化された粒子がヒーター室から排出されるのを防ぎます。PSK TERA 21は、今日の複雑なマイクロサイズのICを処理するために不可欠な超微細な選択性を実現します。それは高温合金、TiN/TiWN、 Au/Ti、 Al/Tiおよび他の貴金属を含む異なった材料の広い範囲を支えます。高温で動作する機能により、高アスペクト比、深いおよび/または狭い構造と複雑な3Dマイクロストラクチャーの処理が可能です。このツールは、エンベデッドコントローラ、オペレーションソフトウェア、タイマーを備えており、エッチングプロセスの完全な自動化を可能にします。この資産は容易な維持管理のために設計され、監視およびプロセスのデータ転送のためのネットワークに接続することができます。TERA 21はハイサイクルの反復可能な結果を作り出すことができ、研究および生産のための理想的な選択をし、微細で、超微細な特徴の巧妙な開発のための最高のエッチング機能そして精密を与えます。
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