中古 PSK TERA 21 #9250689 を販売中

PSK TERA 21は、半導体ウェーハの高精度エッチングおよびトリミング用に設計されたエッチャー/アッシャーです。最先端のエッチングと消去装置を備え、最大20 μ mの処理解像度を提供します。このシステムは、高度なXY軸デバイスと精密制御電気めっきユニットを備えた強力なフレーム上に構築されています。計測・検査・調整機能を内蔵した自動制御ユニットを搭載しています。これにより、エッチングおよび消去プロセスのパラメータを迅速かつ正確に調整できます。TERA 21のエッチングおよび消去ユニットには4つの高速エッチングヘッドが搭載されており、1ステップあたり0。2 μ mの非常に細かい分解能を備えています。機械は数秒で出力、圧力、温度および頻度を変えることができます。エッチングユニットは0。5〜2。2パーセクの調整可能な圧力範囲を備えており、温度範囲は0°C〜40°Cです。また、0。2〜5。0秒の時間に設定できる6種類のエッチングおよび消去アクチュエータを備えています。このエッチャー/アッシャーは、ウェハの構造を破壊することなく、正確なエッチング結果を得るように設計されています。そのユニークなデザインは、エッチング処理が高速で効率的で非常に均一であることを保証します。さらに、このツールは、より高い効率と精度でエッチングを可能にする多方向エッチングが可能です。エッチングに加えて、PSK TERA 21はトリミングサービスのシリーズも提供しています。これらのサービスには、ウェーハ周囲のトリミング、スライス、ダイシング、ダイの処理が含まれます。すべてのトリミング操作には、90°の最大斜め角度の選択があります。アセットの電気めっきユニットには、4つの個別に調整可能なめっきヘッドが含まれており、ユーザーは要件に応じてプロセスを調整することができます。TERA 21は、使いやすく、維持しやすい高精度のエッチングおよびトリミングソリューションを提供するように設計されています。自動化された制御モデルには、パラメータの取得と比較を容易にするデータ管理機能が含まれています。さらに、このマシンは柔軟性と使いやすさを提供するように設計されており、ユーザーは自分の好みにエッチングとトリミングのプロセスの設定をすばやく調整して操作することができます。この効率的で信頼性の高いエッチングおよびトリミングユニットは、使用とメンテナンスが便利で、優れた品質と信頼性を確保します。