中古 PSK TERA 21 #9244821 を販売中

PSK TERA 21は、研究開発プロジェクトに精密エッチングとアッシングプロセスを提供するように設計されたエッチャー/アッシャーです。エッチャー/アッシャーは、大気圧プラズマ技術を使用して、プロセスパラメータを正確に制御して高品質の結果を生成します。装置は2つの広範囲のガス・システムを利用します；エッチング用とアッシング用の1つ。オプションコールドプレート冷却装置を搭載しており、エッチング/アッシュ面のガス加熱および温度の温度と圧力を正確に制御できます。TERA 21は、磁気シールド付きワーキングチャンバーを備えた大型基板保持チャンバーを備えており、汚染を最小限に抑えた高解像度エッチング/アッシングが可能です。部屋の内部はステンレス鋼および陶磁器上塗を施してあるアルミニウムから組み立てられ、容易な維持および高い熱効率を保障します。このガス供給システムは、熱伝達ラインを備えたマスフローコントローラを備えており、プロセスで使用されるガスの正確な制御を保証します。PSK TERA 21で紹介されているプロセス制御ユニットは、高度なPLC技術に基づいており、特定のエッチング/アッシングパラメータの設定と保存を可能にします。インターフェイスの近くにあるコントロールノブを使用して、任意のプロセスに必要なパラメータをダイヤルすることができます。同じ制御機械がまた任意冷却用具を制御するのに使用されています；エッチング/アッシング面の温度は冷却板を通して調整されます。このデバイスは、チャンバーを開けたときの自動シャットオフや緊急停止ボタンなど、多くの安全機能を備えています。ガス供給資産も別の部屋に配置され、潜在的な危険からデバイスをさらに隔離します。TERA 21は利便性と使いやすさを念頭に設計されています。すべてのコンポーネントはモジュール式で、ツールを必要とせずに簡単に交換できます。さらに、ディスプレイパネルには多言語メニューがあり、あらゆる国のバックグラウンドのオペレータが制御モデルにすばやく慣れることができます。最後に、このデバイスは標準の圧縮ガス供給システムに接続することができます。