中古 PSK Supra IV #293638921 を販売中

PSK Supra IVは、半導体およびMEMS業界で精密エッチングおよびアッシングに使用される最先端のエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、高度なDCソースと高出力RFジェネレータで構成されており、さまざまなワークロードでのウェーハの高精度かつ効率的な処理を可能にします。このユニットは50立方フィートのプロセスチャンバーを備えており、幅広い基板サイズと温度にわたって均一なエッチングとアッシングを提供します。堅牢なユニットは、個々のプロセスのニーズに合わせて簡単に調整可能でありながら、生産ランで再現可能な結果を提供するように設計されています。一貫したパフォーマンスと正しい動作を保証するために、マシンにはフルフィーチャーのハードウェアとソフトウェアインターフェイスが装備されています。Supra IVはファクトリーオートメーションの最新ツールを活用しており、さまざまなウェーハ加工機やロボティクスと完全に互換性があります。DCソースは最大1350 VDCを提供し、最も繊細な基板でも基板の完全性と正確な処理を可能にします。ソースの最大出力電流は700アンプで、プラズマ損傷の少ない高エッチングおよびアッシング速度を保証します。プロセスの精密制御を可能にするために、ソースは調整可能なパルス幅も提供し、ユーザーは最適な品質と均一性のためにエッチングまたはアッシングプロセスを微調整することができます。すべてのプロセスは、内蔵のデジタルディスプレイと付属のソフトウェアを介して監視および制御することができます。PSK Supra IVには2つのRFジェネレータがあり、高い収率と結果の再現性を実現します。特許取得済みのアーク安定化ツールにより、低コストで忠実度の高い処理で高いスループットを実現します。発電機は、消費電力を削減し、すべての処理モードで最適な電気性能を提供するように設計されています。発電機は最大1000ワットのRF電力を供給し、高速転送、エッチング、アッシングを可能にします。電流と電力は完全に調整可能で、ユーザーは製品の品質を損なうことなくエッチングまたはアッシングを制御することができます。安全のために、アセットは最高品質のコンポーネントで構築され、感電からの保護とアークフラッシュ点火を防止します。圧力制御モデルはまた、チャンバー内のプラズマの状態を監視し、必要に応じてチャンバーを急速に冷却します。オプションの発煙抽出キットを設置することで、環境中の有害粒子のリスクをさらに低減できます。Supra IVは、大学の研究から商業生産ラインまで、要求の厳しいエッチングおよびアッシング用途に適した最先端のエッチャー/アッシャーです。その高度な機能セットは、複雑なジョブに最適で、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、セットアップと操作が簡単になります。