中古 PSK Supra III #9281480 を販売中

PSK Supra IIIは、自動化された半導体加工アプリケーションで使用するために設計されたエッチャー/アッシャーです。高速、高圧、費用対効果の高いエッチング/灰ソリューションです。この装置は、必要な垂直チューブ炉、マルチゾーンホットゾーン、ロータリープラネタリーエッチング/灰チャンバー、および自動化されたプロセス制御インターフェースで構成されています。このシステムにより、エッチング/アッシングプロセスの温度と時間を正確に制御できます。縦の管の炉は33。5インチの直径のキャビティを特色にし、1220°C。の最高温度に達することができます。炉に均一に全体のプロセス管を熱する1つの内部暖房地帯があります。ホットゾーンは、調整可能な電気エネルギー入力と独立した温度制御を備えた3つのゾーンで構成されています。ホットゾーンは下層ゾーン、中層ゾーン、上層ゾーンで構成されています。ホットゾーンは、処理チューブ全体に均一な温度分布を提供します。ロータリープラネタリーエッチング/アッシュチャンバーは、最適なエッチング/アッシュプロファイルを提供するように設計されています。チャンバーは、さまざまな基板ホルダを保持し、最大13。5 rpmの速度で回転し、最大303 mBarの圧力で動作する回転ディスクで構成されています。このチャンバーには、エッチング/灰プロファイルのさらなる均一性に使用できる温度制御シャワーの自動ユニットが含まれています。Supra IIIには、エッチング/アッシングプロセスを完全に制御するための完全自動化されたプロセス制御インターフェイスが含まれています。インターフェースにより、プリコンディショニング温度、エッチング/アッシュドウェル時間、容器圧力、ディスク回転速度、シャワー温度、およびその他のパラメータなどの調整可能なパラメータを設定できます。さらに、このインターフェイスは、さまざまな表示オプションを備えたプロセスの包括的なビューを提供します。インターフェースはまた、リアルタイム監視を提供し、オンラインレポートを生成するために使用することができます。PSK Supra IIIは、ハイスループットの自動化に理想的なエッチング/アッシュソリューションです。自動化された環境で一貫した信頼性の高いパフォーマンスを提供します。プロセス温度と時間を正確に制御することにより、機械は繰り返し可能なエッチング/灰の性能を可能にします。このツールの柔軟性により、幅広いエッチング/アッシュプロセスに適しています。