中古 PSK Supra III #9276759 を販売中

PSK Supra IIIは、産業用および学術用途のニーズを満たすように設計された高性能エッチャーおよびアッシャー装置です。エッチング、アッシング、基板調製プロセスを実行することができます。このシステムは、エッチング時間を最大80％短縮できる表面修正のための特許取得済みの技術を使用しています。Supra IIIは、シリコン、窒化ケイ素、アルミニウム、チタンなどの材料でSiO2層または酸化物層を動作させることができます。単位はユーザーインターフェイスおよび制御のためのタッチ画面インターフェイスが装備されています。また、エッチング、アッシング、基板準備プロセスを制御する統合ソフトウェアスイートも提供されています。ソフトウェアは、異なる層の材料や厚さを処理するように構成することができます。ソフトウェアはまた、処理結果の詳細なレポートの生成を可能にします。PSK Supra IIIには、最大31個のウェーハを1回の実行で収容できるウェーハバンクがあります。統合されたトランスファツール（T-Tool）により、同時にエッチングチャンバー間でウェーハを自動転送できます。T-Toolは、ウェーハの自動スケジューリングも可能で、適切なプロセスのシーケンスを確実に追従させます。また、完全に自動化されたクリーニングモジュールと完全に囲まれたアッシングチャンバーを備えており、アッシングプロセスのクリーンな環境を確保しています。アッシングチャンバーは、エッチングモードまたはアッシュモードで操作できます。また、エッチング工程において精密な温度制御が可能で、最適な性能を発揮します。Supra IIIは、幅広い基板材料のエッチングパラメータを正確に制御できる強力なエッチングツールです。このアセットは、ユーザーに高性能のエッチングとアッシング機能を提供し、自社の回路、部品、製品を迅速かつ確実に製造できるように設計されています。