中古 PSK Supra III #293587729 を販売中

ID: 293587729
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Asher, 12" Process: Etch 2007 vintage.
PSK Supra IIIは、精密産業用エッチング用途に特化したエッチャー/アッシャーです。それは基質の広い範囲の信頼でき、反復可能な制御および均一エッチングの均等性を提供するように設計されています。そのユニークなマルチゾーン設計は、従来のアッシャー/エッチャー技術よりも大きな利点を提供します。Supra IIIはDCとRFを組み合わせた電源で動作し、精密なエッチング制御が可能です。自動シーケンシャルタイミング回路と標準の3段フィードとイーチングサイクルにより、均一なエッチング深さを実現します。PSK Supra IIIは、アルミニウム、銅、ステンレス鋼、チタンおよび他の多くの誘電面を含むさまざまな材料をエッチングすることができます。最高温度は1000°C (1832°F)で、1〜5\0 m/minのエッチング速度を達成できます。また、エッチングガスを均一に混合してエッチング性能を最適化するために、ガス混合チャンバーを備えています。Supra IIIはまた、エッチング精度と効率を向上させるために設計された他のいくつかの機能を備えています。3つのレーンフィード装置により、複数のエッチングタスクを並列に実行できます。ユニットの故障や故障を検出できる自動診断システムが付属しています。さらに、PSK Supra IIIにはシリアルポートインターフェイスとオプションのイーサネットポートが付属しており、監視アクティビティとデータ分析を可能にします。Supra IIIは、厚さ1〜25mmの金属エッチングを処理するように設計されています。エッチングチャンバーは150 psi (1 atm)までの圧力で評価され、エッチングチャンバーは1,000°C (1,832°F)まで冷却または加熱することができます。コントロールボードには、エッチングプロセスを監視するためのデジタル信号とインジケータが装備されています。コントロールボードには、エッチングプロセスを追跡し、必要なときに必要な調整を行うためのデジタルプログラミング機能もあります。PSK Supra IIIエッチャー/アッシャーは、優れた技術性能を提供する、費用対効果が高く信頼性の高い精密エッチング機です。モジュラー設計とハイグレードコンポーネントにより、最も要求の厳しいエッチングの課題に対応できます。独自のマルチゾーン設計、強力な内部制御、直感的なデジタルインターフェイスにより、Supra IIIは精密エッチング用途に最適なソリューションです。
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