中古 PSK Supra III PM #9402477 を販売中

PSK Supra III PMは、PSK Corporationが多種多様な材料の精密エッチングとアッシングのために開発した高度なエッチャー/アッシャー装置です。これは、高度な独自のPlasmaShadow™プラズマ源と、専門のアクセサリーや機能のホストを備えています。PlasmaShadowプラズマソースは、最適な速度と精度で多種多様な材料のエッチングとアッシングが可能なシステムのセンターピースです。電源グループの4段階調整可能なパワーユニットは、エッチャー/アッシャーを低速でも高出力でも動作させることができます。この調整可能なパワーマシンは、最適な電力安定性と再現性を維持するのにも役立ちます。さらに、ファインチューニングされた焦点距離制御ツールは、各エッチサイクルの正確で均一な再現性を保証します。また、エッチングプロセスの長さにわたって一定の電力分布を維持するのにも役立ちます。PSK輪郭ロック、適合性、選択性、パワーフィードバックシステムなど、さまざまなセンサーヘッドは、エッチング/灰プロセスをさらに最適化するのに役立ちます。さらに、PSK独自のAutoProcess™アルゴリズムは、最適なサイクルタイムと再現性を提供します。このアルゴリズムは、資産がエッチングサイクルを自動的に最適化し、効率を最大化しながら、障害サイクルのリスクを排除するのに役立ちます。また、2つのエッチング/アッシュヘッドとオプションの同軸リフトオフプラットフォームを備えています。従来のOリングを切り替えることで、より小さな同軸リフトを実現し、基板の積み下ろし時間を大幅に短縮します。さらに、装置には、プロセス操作中の避難と清潔さを容易にするチャンバーの囲いが装備されています。過電流の保護、プラズマ漏れの保護、プロセスの中断機能などの高度な安全システムは、動作中の安全性と正確性をさらに確保します。さらに、システムの最適な作業環境は、室温、圧力、湿度を調節する包括的な制御セットで簡単に管理および維持されます。Supra III PMエッチャー/アッシャーユニットは、幅広い材料のエッチングと灰のための革新的で先進的なソリューションです。高度にカスタマイズ可能なエッチングおよびアッシング機として、高度な制御システム、強力なプラズマソース、信頼性の高いエッチヘッド設計は、必要な結果を確実に提供します。