中古 PSK Evolite 2 #9259698 を販売中

PSK Evolite 2は、PASS Equipment Korn Field GmbHによって開発された高度なエッチャー/アッシャーです。高効率で省エネなエッチング・アッシング方式で、幅広い用途にご利用いただけます。最新のPECVD技術、またはプラズマ強化化学蒸着を使用して、エッチングまたはアッシングプロセスを作成します。この技術は、従来のエッチングおよびアッシング方法よりも少ない電力を必要とするため、基板をエッチングする最も効率的で費用対効果の高い方法の1つです。Evolite 2は、アプリケーションに応じてカスタマイズできるモジュラー設計と、エッチング処理を制御するためのPECVDヘッドを備えています。これは、シリコン、ヒ素ガリウム、金属酸化物などの様々な基板をエッチングおよびアッシングするように設計されています。エッチングおよびアッシング処理は、圧力、温度、プラズマイオン密度など、さまざまなパラメータを使用して制御および最適化できます。このレベルの制御と最適化により、エッチング/アッシングプロセスごとに最高品質の基板結果が達成されます。PSK Evolite 2には、プロセスチャンバーとその環境の清潔さを維持するための高度なチャンバークリーニングユニットもあります。これにより、最適なエッチングとアッシングの結果を得るために、すべてのプロセスパラメータが維持されます。クリーンチャンバーはまた、プロセスの再現性と信頼性を向上させ、同じレシピで処理された各基板バッチが一貫した結果をもたらすことを意味します。さらに、Evolite 2には、エッチング/アッシング工程で発生する熱による過度の熱損傷を防ぐための冷却装置が追加されています。冷却ツールは、環境温度が上昇してもエッチング/アッシングプロセスを維持するだけでなく、事故の場合には追加の安全レベルを提供するのにも役立ちます。最後に、PSK Evolite 2には、プロセスチャンバーのリアルタイム画像を提供するサーマルイメージングカメラも含まれています。これは、各エッチング/アッシング処理中にプロセスパラメータが正しく設定され、監視されるようにするのに役立ちます。全体的に、Evolite 2は、効率的で一貫した結果を提供する最先端のエッチング/アッシング資産です。さまざまな用途の要件を満たすようにカスタマイズできるほか、サーマルイメージングカメラを使用してリアルタイムでエッチング/アッシングプロセスを監視する機能を提供するため、優れた汎用性を提供します。これにより、さまざまな基板のエッチングとアッシングに最適です。