中古 PSK Evolite 2 #9259692 を販売中

ID: 9259692
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
Asher, 12" (2) Chambers 2011 vintage.
PSK Evolite 2は、さまざまな基板の高スループット処理に最適なエッチャー/アッシャーです。従来モデルよりも処理面積が大きく、より高いスループットと生産性を実現しています。エッチャー/アッシャーは、自動化されたプロセスにユーザーフレンドリーであり、最適化のためのさまざまなプロセスパラメータを提供します。Evolite 2には、エッチングとアッシングという2つの異なるプロセスがあります。エッチング中、PSK Evolite 2によって生成されたマイクロ波を使用して、基板から材料を選択的に除去します。エッチングプロセスを使用して、特定の基板を高精度で滑らかにしてパターン化することができます。アッシング工程では、高強度マイクロ波により揮発性物質が揮発し、素材から素早く除去されます。これにより、クリーンでクリアな表面仕上げになります。Evolite 2には、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスによって制御できる調整可能なマイクロ波周波数もあります。この機能により、正確で反復可能な結果が得られます。紫外線遮蔽シャッターと、基板を損傷することなく信頼性の高い結果を得るための温度監視装置が含まれています。PSK Evolite 2は、60Cから350Cまでの幅広いプロセス温度を提供します。この温度範囲により、異なる種類の基板を加工する際の柔軟性が向上します。また、低温が必要な繊細なプロセスに最適なオプションの真空システムも提供しています。Evolite 2には、独自の特許出願中の電極回転ユニットも装備されています。このマシンを使用すると、プロセスパラメータをすばやく変更でき、ユーザーはあるプロセスから別のプロセスにすばやく移動できます。最後に、PSK Evolite 2は、不活性大気処理のためのオプションの窒素ガス供給を備えています。全体的に、Evolite 2は直感的なコントロールとさまざまな機能を備えた最上位のエッチャー/アッシャーであり、高スループット処理と正確な結果に最適です。
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