中古 PSK ECOLITE-II-T #9385545 を販売中

PSK ECOLITE-II-Tは、さまざまなアプリケーション向けに設計された最先端のエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、エッチングおよびベーキングプロセスに対する優れた精度と制御をユーザーに提供します。複数のウェーハを1つのジョブと複数のジョブで同時に処理できるため、効率的な運用が可能です。ECOLITE-II-Tは、高度で多周波、サーボ駆動、ダイレクトドライブ絶縁ドライブモータを備えています。これにより、速度精度の向上、安定性の向上、精度の向上、および他のシステムと比較したウェーハ歩留まりの向上を実現します。ウェーハドライブ/スピン速度は調整可能で、ユーザーはエッチング処理を希望の結果に合わせて調整できます。エッチング/アッシュチャンバーには、片側にRFシールが装備されているほか、ユニット全体を包み込むあらかじめ形成された膜シールキットが装備されており、均一な真空環境を確保しています。これは、制御の正確なレベルを可能にし、有害な粒子がチャンバーに入ることを阻害します。さらに、PSK ECOLITE-II-Tには、一貫した均一な処理条件を確保するために、チャンバの熱環境に適応する温度制御モジュールが装備されています。ECOLITE-II-Tは、ユーザーと環境の両方を保護するいくつかの安全機能を備えています。それは潜在的に危険な材料の徹底的な避難を可能にする打撃装置およびスクラバーが装備されています。この機械は、エッチング処理中に液体やその他の物質が空気中に放出されないように設計されています。PSK ECOLITE-II-Tは、シリコンウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハ、石英ガラス、リチウムシリケートガラス、およびその他のSi軸受材料など、さまざまな基板および材料と互換性があります。また、プラズマ強化化学蒸着工具（PECVD）を搭載しており、薄膜の高い比率と優れた均一性を実現しています。全体的に、ECOLITE-II-Tは信頼性が高く、高精度のエッチングおよびベーキング資産です。その高度なデザインと複数の安全機能は、品質やパフォーマンスに妥協することなく、ユーザーに感動を与えます。PSK ECOLITE-II-Tは、効率的で信頼性の高いエッチング機能を求める人に最適です。