中古 PSK DES-212-304AVLIII #9269462 を販売中

PSK DES-212-304AVLIIIは、金属、ポリマー、ガラスなどの幅広い基板を加工するために設計された最先端のエッチングおよびアッシング装置です。このシステムには、コーティングを堆積するための水晶チューブを備えたPECVD原子炉と、個々の構造を分離するためのリフトオフ装置が装備されています。PSK DES 212 304 AVL IIIは、エッチングおよびアッシング工程中の温度均一性を考慮して設計された垂直可動式ウェーハキャリアを備えた頑丈なステンレススチールプロセスチャンバーを備えています。DES-212-304AVLIIIは、専用のチャンバー制御および監視システムに裏打ちされた高度なプロセス機能を提供します。エッチャーには、プロセス温度を監視および維持するためのプログラム可能なペルチェ温度コントローラが装備されています。また、プロセスガスを正確に測定するための高精度マスフローコントローラを搭載しています。また、高性能なタッチパネルディスプレイを使用して、エッチングおよびアッシング処理を監視および制御します。DES 212 304 AVL IIIエッチャーは、最大8インチx 8インチ（203mm x 203mm）の基板加工が可能です。反応イオンエッチング（RIE）、誘導結合プラズマエッチング（ICP）、ケミカルエッチング、ウェットエッチングなどの高度なエッチング技術を備えています。このツールは、最高温度600°C、最大圧力760 Torrまでの基板を処理するように設計されています。さらに、PSK DES-212-304AVLIIIは、保護コーティング成膜用のユニークな後処理ステーションと組み込みの安全インターロック資産を備えています。エッチャーには、in-situおよびex-situ計測および検査機能の広い範囲が含まれています。このモデルには、堅牢なデータストレージと検索オプションが付属しており、エッチングおよびアッシングプロセスのさらなる分析と最適化を容易にします。PSK DES 212 304 AVL IIIエッチャーは、最高の効率と歩留まりで信頼性の高い処理性能を提供するように設計されています。エッチャーには、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスと簡単にアクセスできるポイントアンドクリックコマンドが装備されており、すばやく簡単に操作できます。エッチャーは、幅広い研究開発アプリケーションに適しています。