中古 PSK DES-212-304AVLIII #9018567 を販売中

PSK DES-212-304AVLIII
ID: 9018567
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1989
Asher, 6" 1989 vintage.
PSK DES-212-304AVLIIIは、Plasma Systems Knox (PSK)製のデュアルヘッド、セミオートセレクティブエッチャーおよびアッシャーです。それは現代のマイクロエレクトロニクス材料のエッチングそしてashingの専用の使用のために設計されています。革新的な技術で構築されたPSK DES 212 304 AVL IIIは、堅牢な性能と高効率出力を備えたコンパクトで信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。設置面積が小さく、スペースを最小限に抑えたエリアに最適です。この装置は、低騒音、低エネルギー、セラミックコア誘導構成を利用して、電力損失を最小限に抑えながら、最高温度とプラズマ安定性を生み出します。DES-212-304AVLIIIのダブルチャンバー設計は、複数のエッチングとアッシング操作の間に十分なセットアップ時間を提供し、システムの信頼性を高めます。このユニットは、様々な化学エッチング剤やリアクタントと互換性があり、薄膜、シリコンウェーハ、および結晶酸化物材料のエッチングとアッシングを可能にします。エッチングとアッシングのプロセスは、高い信頼性と再現性があり、必要なリワークの数を最小限に抑えます。さらに、DES 212 304 AVL IIIは、正確で使いやすい温度制御により、非常に正確な結果を得ることができます。PSK DES-212-304AVLIIIは手動および自動操作のために設計されています。手動操作はユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを介して行われ、エッチングまたはアッシングプロセスの各ステージのすべての変数と設定が表示されます。さらに、PSK DES 212 304 AVL IIIは、機械内の異常を迅速かつ効率的に検出するための自己診断機能を備えています。このツールには、ユーザーと機器の両方を保護するための多数の安全機能が含まれています。温度は常に監視され、調整可能な範囲を使用して制御され、熱暴走や過剰な温度を防ぎます。さらに、エッチャー/アッシャーには高温発煙除去アセットが装備されており、揮発性の化学物質が周囲の環境に侵入するリスクを防ぎます。DES-212-304AVLIIIには、予期せぬ事故が発生した場合にすべての操作が直ちに停止されるようにするための緊急停止ボタンも含まれています。結論として、DES 212 304 AVL IIIは、マイクロエレクトロニクス材料のエッチングおよびアッシング用に設計された信頼性が高く、高効率のエッチャー/アッシャーです。低ノイズ、低エネルギーセラミックコア誘導構成、デュアルチャンバー設計、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスなどの高度な機能により、スペース要件を最小限に抑えた領域に最適です。さらに、その安全機能は、ユーザーと機器の保護を保証します。
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