中古 PSK DAS III #9243656 を販売中

PSK DAS IIIは、エッチングおよびアッシングプロセスを完全に制御できるように設計された高性能アッシャー/エッチャーです。標準的なフォトリソグラフィーエッチングから高度なスパッタリング、反応性イオンエッチングまで、幅広いカスタムプロセスが可能です。DAS IIIは、二重熱源を使用して、各エッチングプロセスの正確な制御と制御を可能にし、基板の損傷を最小限に抑えて一貫した結果を出力します。この装置は、最大3次元パターニング用に設計されており、高い真空能力を備えているため、エッチング処理を汚染することなく行うことができます。また、PSK DAS IIIが認識し補償できるパターンの不規則性など、エッチングするパターンを正確に定義できる高性能スキャンマスクも備えています。DAS IIIにはマルチゾーンチャンバー設計が含まれており、エッチングチャンバーのさまざまなプロセス領域を異なる温度にチューニングすることができ、正確な形状のエッチングと均一なエッチング深度を可能にします。プログラム可能なインターロックにより、ガス圧力、温度、流量などの処理パラメータが最適な範囲内に維持されます。さらに、統合されたカセットライブラリは、作業片への整理されたアクセスを提供し、エッチングチャンバー内のサンプルを汚染することなく効率的にロードおよびアンロードすることができます。このチャンバーは最大200°Cまで温度制御されており、熱感受性基板を損傷することなく高いエッチング率を実現します。また、リアルタイムデータ収集やパラメータ監視ソフトウェアなどの統合診断システムも備えており、オペレータの最適な操作を支援します。PSK DAS IIIには、ラボプロセスとデータ収集との互換性を可能にするラボ固有のインターフェイスも含まれています。DAS IIIは、信頼性の高いユーザーフレンドリーなパフォーマンスにより、エッチングプロセスを優れた制御を提供します。