中古 PSK DAS 2000 #9276091 を販売中

PSK DAS 2000は、中小規模のエッチングおよびアッシング用途向けに設計された、高効率のウェハエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、より大きなプロセス制御、高解像度のイメージング、使いやすさのための簡単な設計などの新機能を備えた改善されたアップグレード可能な設計を備えています。このユニットは、2つの密接に結合されたチャンバーとコンベヤーベルトの設計を使用して、簡単にロードできます。最初のチャンバーは、エッチングまたはアッシングの前にウェーハ表面を適切に準備するために必要な原子酸素を提供するプレエッチング/プレアッシュチャンバーです。このチャンバーは、高温および低圧動作を可能にする高度な熱壁RF入力電源を内蔵しており、従来のRF電源よりも優れた性能と柔軟性を提供します。2つ目のチャンバーは、低圧単周波数マルチターゲットグロー放電電源を利用したプラズマエッチング/アッシングチャンバーです。統合されたコントローラは、圧力、電力、および温度測定の画面表示のための統合オプションを備えたわかりやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。このチャンバーはまた、精度、適合性、パッシベーションなどのエッチング/アッシングパラメータの制御を強化します。また、高度な画像キャプチャツールを搭載し、エッチングパターンを記録して分析することで、制御性と再現性を向上させます。さらに、この資産は、プログラム可能なアラームモデルやプロセスアボート機能などの優れた安全機能を提供します。全体として、PSK DAS-2000は、前任者よりも高いレベルのプロセス制御と優れた結果を提供するように設計された非常に効率的で包括的なエッチャー/アッシャー装置です。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスと強力な機能により、ラボや産業用エッチングやアッシングに最適です。