中古 PSK DAS 2000 #9243882 を販売中

PSK DAS 2000は、PSK社が開発したハイエンドエッチャー/アッシャーです。2インチから6インチまでの基板の信頼性の高いエッチング/アッシングを提供するように設計されたスタンドアロン装置です。高速基板搬送ユニットとウエハカセットを一体化しており、一度に最大4枚のウエハに対応できます。PSK DAS-2000には、さまざまなプロセスゾーンでウェーハを確実に動かす高精度モータが搭載されています。これらには、自動基板ローダー、インジェクションゾーン、ウェットエッチングゾーン、ドライエッチング/アッシングゾーン、ウェーハアンローダーが含まれます。ウェットエッチングゾーンは、水溶液とULPAフィルタホットエアーを使用して、すべての基板を最大の再現性と均一性で素早くエッチングします。ドライエッチング/アッシングゾーンは、ULPA濾過と不活性窒素またはアルゴンを組み合わせて、さまざまな基板の精密エッチングとアッシングを実現します。機械はまた統合されたロードロックおよび400°C。までの比類のない温度調整を特色にします。これは、すべての業界標準の化学物質と互換性があり、ユーザーは、基板の広い範囲をエッチングし、灰にすることができます。この機能により、さまざまな基板用の高価な特別なソリューションを購入する必要がなくなるため、時間とコストを節約できます。DAS 2000は、プロセスの効率を最適化するために、高速サイクルタイムと実績のあるエンドポイント検出ツールで設計されています。さらに、信頼性の高い動作を実現し、24時間365日の無停止での可用性とスループットを確保します。これはすべて、堅牢で信頼性の高いハードウェアコンポーネントと、リアルタイム制御とエラーのない操作を提供する使いやすいタッチスクリーンユーザーインターフェイスによって保証されています。全体として、DAS-2000は強力で信頼性が高く、堅牢なエッチャー/アッシャーであり、最大の再現性と均一性を提供します。その効率、インテリジェントな機能、幅広い互換性により、エッチングやアッシングアプリケーションに最適です。