中古 PSK DAS 2000 #9243716 を販売中

PSK DAS 2000は、半導体、シリコンウェーハおよびその他のマイクロエレクトロニクス部品の試料調製用に設計された完全自動エッチャー/アッシャーです。最高処理温度2000°Cの精度で最大8種類のレシピを処理することができます。PSK DAS-2000は、独自の温度および圧力制御、およびデジタルおよびアナログ信号を備えた8つの個別のプロセスチャンバーを備えています。最大24種類のプロセスパラメータを同時に監視、制御、調整できます。DAS 2000にはデジタルユーザーインターフェイスが装備されており、ユーザーはレシピをすばやく呼び出し、以前にプログラムされたプロセスを確認することができます。ユーザーインターフェイスは、真空ポンプ上の実際のチャンバー圧力とターゲット圧力セットポイントを表示し、ユーザーが簡単にレシピを微調整することができます。また、DAS-2000は自己診断システムを備えており、すべてのシステムパラメータを継続的に監視し、最適な結果が一貫して達成されるようにしています。PSK DAS 2000には独自の逆排気機能が搭載されており、使用済み化学物質をチャンバーや再生ブロワーから排出することができます。この機能は、化学物質の連続的な積み降ろし時に蓄積できる危険な発煙を低減するのに役立ち、安全性が非常に重要な施設で特に有用です。PSK DAS-2000エッチャー/アッシャーは、酸素や塩素濃度、エッチング速度、温度均一性などの電気化学的プロセスパラメータの厳密な制御を必要とするアプリケーションに適した信頼性の高い精密な機器です。DAS 2000は、優れた一貫性と性能で高い歩留まりを作り出すことができ、研究および生産アプリケーションに最適です。