中古 PSC DES-304 #293616016 を販売中

PSC DES-304は、表面処理および高精度エッチング用途向けに設計された最先端のエッチング/アッシャー装置です。プラズマエッチング、ケミカルエッチング、ウェットエッチング、触媒エッチング、ディープエッチング、リアクティブイオンエッチング、アッシング、ドライエッチングなど、さまざまなプロセスに対応する2ゾーンの高真空システムです。このユニットには、石英プロセスチャンバーと高真空ポンプ機が装備されています。この低メンテナンスツールは、信頼性と一貫したエッチングプロセスを提供します。この資産には、304-1 RFジェネレータ、最大2ゾーンの真空システムが含まれています。これには、6「ディーププラットフォームから28」までの深さ、2ゾーンの真空エッチングシステム、2ゾーンのアッシングシステム、および2ゾーンのレジスト除去システムが含まれます。2インチ（50。8）の石英窓を備えたプロセスチャンバーと、エッチング速度と陽極電流制御に使用できる統合プロセスコントローラを備えています。DES-304は自動周波数チューニング機能も備えており、より簡単で信頼性の高いプロセスを可能にします。304-1 RFジェネレータは、プロセスチャンバーに最大400Wの電力を供給します。低電力（0-20W）と高電力（0-400W）の2モデルがあります。また、エッチング中に基板にバイアスをかけるために使用される別の60kV DC電源も装備されています。このモデルには、チャンバーの両側に45°CWのリモートビューポートがあり、プロセスの完全性を維持しながらサンプルを直接見ることができます。この装置は、エッチング速度を直接制御することができ、フッ素、塩素、窒素、酸素、水素などのさまざまなプロセスガスと互換性があります。また、ディープエッチングやリアクティブイオンエッチングなどの特殊プロセスも可能で、手動で調整可能な射出角度をオプションで使用することで、プロセス制御を向上させます。このシステムはまた、より長いエッチング工程で部品を涼しく保つために再循環の冷却ループを備えています。PSC DES-304は、高精度エッチングおよび表面処理用途向けに設計された高度なエッチングおよびアッシングユニットです。これは、2ゾーンマシンと低メンテナンス、信頼性の高いプロセス操作を備えています。このツールは、エッチング、ディープエッチング、リアクティブイオンエッチング、アッシングなどのさまざまなプロセス機能、およびエッチング速度と陽極電流の直接プロセス制御を提供します。豊富な機能を備えたDES-304は、多様なエッチングおよびアッシング要件に適した汎用性の高い資産です。