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PSC DES-220-459-AVL
ID: 293829995
Asher.
PSC DES-220-459-AVLは、半導体加工用に設計された特殊なエッチャー/アッシャー装置です。この先進的な装置は、基板表面から材料を選択的に除去し、高精度で制御することにより、集積回路やその他のマイクロエレクトロニクス機器の製造に使用されます。DES-220-459-AVLは、単一のプラットフォームでエッチング機能とアッシング機能の両方を組み合わせたユニークなデザインを備えており、製造プロセスの柔軟性と効率性をユーザーに提供します。このシステムには、クリーンルーム環境でのパフォーマンスと信頼性を高めるさまざまな先進技術と機能が搭載されています。PSC DES-220-459-AVLの重要なコンポーネントの1つは、エッチングおよびアッシングプロセスの制御環境を提供するように設計されたプロセスチャンバーです。このチャンバーは、半導体加工に使用される過酷な化学物質や高温に耐える高品質の材料で構成されています。また、オペレータと環境の保護を確保するための安全機能の範囲が装備されています。DES-220-459-AVLのエッチング工程は、プラズマと反応性ガス化学を組み合わせて実現します。プラズマエッチングは、一連の化学反応によって基板表面から材料を除去する非常に選択的で効率的なプロセスです。このユニットには、エッチングパラメータを正確に制御するために、さまざまなガス供給システムとRF電源が装備されています。PSC DES-220-459-AVLのアッシャープロセスは、基板表面からフォトレジストやその他の有機残基を除去するために使用されます。アッシングは、半導体製造プロセスにおいて重要なステップであり、その後の処理ステップに基板を準備します。機械は一貫した、均一ashing結果を保障するために専用のashing部屋およびガスの流れの制御用具が装備されています。DES-220-459-AVLはまた、ガス流量、チャンバー圧力、温度などのプロセスパラメータをリアルタイムで監視できる高度なプロセス監視および制御システムを備えています。これらのシステムは、最大の効率と再現性のためにプロセス条件を最適化する能力をオペレータに提供します。PSC DES-220-459-AVLは、高度なプロセス機能に加えて、操作とメンテナンスを簡素化するユーザーフレンドリーなインターフェイスとソフトウェア制御資産も備えています。このモデルには、潜在的な危険からオペレータや機器を保護するためのさまざまな安全機能とインターロックが装備されています。全体として、半導体加工アプリケーションDES-220-459-AVL高性能、高精度、および信頼性を提供する最先端のエッチャー/アッシャー装置です。その高度な機能と機能は、半導体製造プロセスで高品質の結果を達成しようとしているメーカーにとって理想的な選択肢です。
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