中古 PSC DES-212 #9198273 を販売中

PSC DES-212エッチャー/アッシャーは、精密で信頼性の高い再現可能なプラズマエッチングおよびアッシング操作を提供するように設計された、完全に自動化されたプラズマエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、高いスループットと優れた生産性を達成するために必要な統合ハードウェア、ソフトウェア、およびサービスを組み合わせています。汎用性と柔軟性に優れたDES-212ユニットには、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス、ユニークなアルゴリズム、強力なハードウェアが組み込まれており、高度なエッチングおよびアッシングアプリケーションの要件を満たしています。機械は30kV電力まで提供する任意高張力電源を使用するかもしれません。このツールには、PFPEベースのエッチング/アッシングチャンバー、エッチングガス分配資産、高速ガススイッチング部品、遠隔プラズマ源、および統合ガス排気モデルが含まれます。このチャンバーは、低温感受性と優れたエッチング均一性を備えた均一な雰囲気を提供します。このチャンバーは、さまざまな種類の基板を処理するための広い範囲を備えています。チャンバーは、取り外し可能なチャンバーウィンドウと、基板の積み下ろし用の取り外し可能なドアで簡単にメンテナンスできるように設計されています。この装置の遠隔プラズマ源は、超低バックグラウンド汚染とプロセスの最高の選択性を提供します。さまざまなパラメータ管理機能により、エッチング処理を最適化できます。エッチャー/アッシャーには、強力で効率的で信頼性の高いシステムにするためのさまざまな機能があります。このユニットには、リアルタイムのユーザプログラマブルエッチレートとエッチング時間制御が含まれており、プロセス要件の変更に応じてエッチング速度とパラメータを調整できます。コントロールパネルは簡単にアクセスでき、機械パラメータを完全に制御し、レシピ選択に簡単にアクセスできます。このツールには、精密な最適化とエッチング/アッシング操作の優れた再現性のための統合されたRFパワー/マッチングアセットも含まれています。PSC DES-212は、UL、 CE、 RoHSの安全認証を取得し、比類のない包括的な安全性を目指して設計されています。また、トランスポータブル基板、自動集塵、低基板ローディングも搭載しています。さらに、この機器には、自動温度制御を可能にする統合されたサーマルイメージングサブシステムが含まれています。このユニットは、外部ソースと統合してエッチングパターンを基板に直接印刷することもできます。DES-212は、今日の最も精密なエッチング/アッシングプロセスの要件を満たすために開発された優れたエッチャー/アッシャーマシンです。このツールの柔軟性と機能は、高い精度、再現性、および高いスループット能力を提供し、要求の厳しいエッチング要件を満たします。