中古 PSC DES-212 #9028318 を販売中

PSC DES-212は、ウェーハ基板における高精度の微細構造化を実現するために設計されたエッチャー/アッシャー装置です。このシステムの主な応用は半導体処理の分野です。DES-212ユニットは、機械化された精密マニピュレータを備えた完全に自動化されたx-y-zテーブルステージであり、ユーザーはエッチング/アッシングプロセス用のウェーハとマスクを正確に配置できます。また、レーザスクライブなどの直接書き込みアプリケーションにも使用できます。x-y-zステージの200mm x 200mm x 15mmトラベルモーション範囲は、3脚の配置で最大6インチの基板に対応し、すべてのサンプルを加工工具に合わせて配置することができます。XYとZの動きは静的負荷でもスムーズで、解像度は最大2 µmです。エッチャー/アッシャーツールは、さまざまなプロセスをサポートするように設計されています。ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）、誘導結合プラズマエッチング（ICP）、ウェットエッチング、薄膜蒸着、スパッタリング、酸化、蒸着、レジストストリップ。このアセットは、シリコン、サファイア、石英、アルミニウムなどの最も困難な基板でエッチング/アッシングを行うことができます。このモデルは、エッチング/アッシングプロセスパラメータをプログラミングするためのライブラリベースのプロセス制御装置、ならびにレシピ作成およびシステム診断を備えています。また、複数のウェハの選択と処理、温度制御、圧力制御、タイミング、およびネットワーキングオプションを可能にし、ユニットは他のデバイス処理ツールと通信することができます。PSC DES-212は、緊急電源オフスイッチやインターロックなどの安全機能を備えており、加圧や短絡から機械を保護するだけでなく、オペレータの安全のためのキーパッドガードも備えています。このツールは、ユーザーを念頭に置いて設計されており、アクセス可能なフロントパネルを介して迅速なメンテナンスとキャリブレーションを提供します。この資産は、高精度のエッチング/アッシングプロセスを確実な結果で実行するために、ファブや研究施設で広く使用されています。高度なアッシャー/エッチャーとして、マイクロストラクチャリングのための現在の業界標準を満たしており、それが提供する汎用性は、ユーザーにさまざまな可能性を開きます。