中古 PSC DES-212 #9028317 を販売中

PSC DES-212は、物理処理用に設計されたエッチング/アッシャー装置で、ナノメートル範囲で高い生産性を提供します。デュアルエッチング/アッシャーセルを搭載し、短いサイクルタイムでプロセスの再現性を高める高度なコントロールを備えています。それは注意深いインピーダンスおよび脈拍制御を用いる高出力、14kW rfの発電機を特色にします。DES-212は、ポリマーから半導体ウェーハまで、さまざまな材料を加工できる汎用性の高いシステムです。プロセス面積が大きいため、大規模なバッチ処理と高スループットが可能です。このユニットは、デュアルセルエッチングとアッシング機能を備えており、同じマシンでエッチングとクリーニングの両方の機能を提供します。エッチング工程では、高出力のRFジェネレータを使用して、ウェーハ材料に化学反応を起こすエネルギー場を生成し、材料層を層ごとに除去します。この洗浄プロセスは、酸素プラズマを使用してウェーハ表面から有機および金属汚染物質を除去します。PSC DES-212は、パワフルなプロセスコントローラを搭載したコンピュータ制御ツールであり、エンドポイント検出、マテリアルトリムとリワーク、資産監視、データ分析などの操作を制御するために設計されたソフトウェアです。温度、圧力、ガスの流れ、電力、プラズマ生成など、さまざまなプロセスパラメータをサポートしています。このモデルは、機器のプログラミングにおける高度な制御とフィードバックループにより、高精度で再現性のある結果を得ることができます。システムにはレシピクリエイターとライブラリが内蔵されており、カスタマイズされたレシピだけでなく、一般的なエッチングプロセス用のプロセスレシピも事前にプログラムされています。DES-212は、クローズドループ制御ユニット、デュアルレベルガス機能、および追加のオフガススクラバーなど、さまざまな統合安全機能を提供します。このマシンは、安全で効率的な操作のために設計されており、後で確認する複数のプロセスパラメータとログのデータを監視することができます。PSC DES-212は信頼性が高く、使いやすいエッチング/アッシャーツールで、個々のプロセスニーズに合わせてカスタマイズできる高精度な結果を提供します。それはあらゆる実験室のための費用効果が大きい資産であり、微細およびナノスケールのエッチングおよびクリーニングの仕事のための優秀なプラットホームを提供します。