中古 PSC DES-212-304AVL #9273101 を販売中

PSC DES-212-304AVLは、高度な電子材料の生産のために設計されたエッチング/アッシング装置です。アルコア型加工室、汎用性の高いPECVDガスデリバリーユニット、複数のロードロックシステム、Oxide-FETプリセンシティブ基板プレクリーンチャンバー、300mmカセット-カセット加工機からなるターンキーシステムです。このデスクトップエッチャーは、既存または追加のプロセスを簡単に統合できるオープンアーキテクチャで設計されています。このツールは、desmear、 stripping、 deposition、 alloying、 mixing、 and breending compositionなど、レジストエッチング、化学または熱灰化を含むあらゆるプロセスに適しています。このエッチャーには、低温で冷却された2つのEビームソースが装備されています。1つは除去に耐える専用のもの、もう1つは表面処理用のものです。アルコア式加工室は、エッチングやアッシングに最適な環境を提供します。チャンバーは、ステンレス鋼の内部チャンバーキャビティに加えて、短波長赤外線の効率的な伝送を可能にしながら、アウトガスに不透明な石英外壁で設計されています。また、プロセスゾーンにセラミックヒーターを備えており、チャンバー全体の独立した温度制御と均一なRF電力供給を保証します。PECVDガス供給資産は、エッチング雰囲気の組成的、イオン的、熱的特性を効率的かつ正確に制御する方法をユーザーに提供します。このモデルは、O2、 N2、およびArを含むさまざまなガスおよび材料を正確に制御することで、バッチまたは連続モードで動作できます。酸化FETゲートプリセンシティブ基板プレクリーンチャンバーは、エッチング前に基板から有機層やその他の汚染物質を除去する効率的で信頼性の高い方法を提供します。PSC DES-212-304-AVLは、ウェーハの洗浄、乾燥、エッチングのための完全な300mmカセットからカセットまでの処理装置を提供しています。この処理システムは、6ステーションコンベアを使用して、効率的な積み下ろしを保証します。このチャンバーは、ユーザーとウェーハの両方を吸入から保護するエアロゾルシールドを備えています。さらに、ブレードハンドリング、ナイフハンドリング、真空プレートのニッピングなど、複数のウエハハンドリングオプションをカスタマイズできます。全体として、DES-212-304AVLはクリーンで高品質な電子部品の製造に理想的な強力で効率的なデスクトップエッチャーです。このユニットは、最も信頼性の高いパフォーマンスを提供しながら、ユーザーの柔軟性とエッチングおよびアッシングアプリケーションの汎用性を提供します。