中古 PSC DES-212-304AVL #9097138 を販売中

PSC DES-212-304AVLはエッチャー/アッシャーです。反応イオンエッチングと化学エッチングを利用した減圧エッチングシステムです。ウェーハサイズを最大4チャンバーで2「から8」にエッチングするように特別に設計されています。このエッチャーは、プリント回路基板、LED、および高周波/マイクロ波装置を含む半導体基板にほぼすべての形状、層パターン、またはプロファイルを生成することができます。PSC DES-212-304-AVLエッチャーには、RFおよびDCバイアス、化学反応イオンエッチング、レーザー加工など、さまざまな機能が搭載されています。各チャンバは、両方のチャンバに対して独立して制御され、電源、RFマッチングネットワーク、およびDCおよびRFスイッチが装備されています。さらに、各チャンバーには高真空水晶モニターが装備されており、チャンバー環境を正確に制御できます。また、QCM周波数シフトのリアルタイムプロットを備えた可変圧力QCMコントローラを備えているため、正確なリアルタイムエッチング制御が可能です。さらに、DES-212-304AVLは、最大10個のガス用のプログラム可能なマイクロプロセッサ制御ガスボックスを備えています。エッチャーは、塩素、アンモニウム、硝酸塩、有機ハロゲン化物およびより高い化学種を含む、さまざまなエッチング化学物質をサポートすることができます。真空ピンチバルブを備えた高度なガスフレックス制御システムは、エッチャーに信頼性の高い高性能エッチングを提供します。DES-212-304-AVLは多種多様なアプリケーションに理想的なエッチャーです。均一な深度制御により、小さく複雑な特徴を正確かつ正確にエッチングすることができます。特に、複雑なパターン、平面化、深部プロファイル、半導体基板の精密なフォトリソグラフィック再作製が可能です。また、高い反復性と信頼性を備えており、生産用途に最適です。