中古 PSC DES 211-304 #9276071 を販売中

PSC DES 211-304は、半導体フォトリソグラフィで使用するエッチャー/アッシャーです。この装置は、フォトリソグラフィ製造における半導体材料の特定の領域をエッチングまたは灰（除去または変更）するための物理的および化学的プロセスの組み合わせを利用しています。DES 211-304は、製造においてますます重要になっているコンピュータチップなどの電子機器の製造に使用されるフォトリソグラフィーステップに関連しています。PSC DES 211-304は、600mm×600mmの負荷領域とプログラム可能なX-Yステージを備えた、ダイレクトドライブダブルブレード、完全に自動化されたエッチングまたはアッシュチャンバーを備えています。ダイレクトドライブ装置は、ブレードの動きに正確な駆動力を提供し、半導体材料の正確なエッチング/アッシングを保証します。このユニットには、Asheeウェーハホルダーと追加のエッチングおよびアッシングアクセサリーも含まれています。これらのアクセサリや自動化システムを使用することで、半導体材料のエッチング/アッシングを自動化し、効率的に行うことができます。DES 211-304のアッシャーチャンバーは、チャンバー内の温度と圧力の同じ程度を確保するためにチャンバー温度コントローラを使用しています。これにより、製造時の半導体材料の正確なエッチング/アッシングを保証します。装置にはマルチチャンネルコンピュータコントロールユニットも装備されており、エッチングまたは灰室内の各独立操作のパラメータを正確に制御できます。PSC DES 211-304は、インターロックシステムと安全警告灯/アラームを備え、最高の安全基準を満たすように設計されています。それはまた使用された化学薬品のための解放の港が付いている排気管を、有害な発煙か蒸気が安全に近くに入る前に取除かれることを保障するために含んでいます。結論として、DES 211-304は、半導体フォトリソグラフィで使用するための効率的で正確で安全なエッチャー/アッシャーです。自動化された機械、部屋の温度調節器、安全システムおよび付属品を含むその特徴はそれを良質の半導体材料の部品の作成にとって理想的にします。