中古 PSC DES-106-254A #9390540 を販売中

PSC DES-106-254A Etcher/Asherは、ドライエッチング、アッシング、リアクティブイオンエッチング（RIE）、各種材料の表面洗浄用に特別に設計された高性能自動精密装置です。このシステムは、外部の周囲温度から最大400°Cまでの温度で動作することができ、材料除去作業に最適です。DES-106-254Aは、さまざまなガス混合物を使用して、正確で低温のプラズマエッチングとアッシングを提供します。PSC DES-106-254A Etcher/Asherは、ロードロック付きの50。9cm （20インチ）八角形の加工チャンバーを備えています。部屋は良質のステンレス鋼から最高の耐久性を保障し、部屋の部品の腐食を防ぐためになされます。このユニットは、4インチウェーハを処理する能力を持ち、生産性を最大化するための自動マテリアルハンドリングマシンを備えています。このツールのユニークな設計により、プラズマが空間的に均一なままです。DES-106-254A Etcher/Asherはその用途において非常に汎用性が高く、多種多様なエッチング/アッシングプロセスを実行することができます。これには、高密度プラズマプロセス（エッチャー/アッシャー）から反応性イオンエッチングおよび深穴エッチング操作が含まれます。この資産は、さまざまなエッチングガスに対応でき、ハイエンドのトリミングアプリケーションが可能です。さらに、このモデルには、他の多くのRFおよびDCモジュールのユーティリティ接続が含まれており、さらに幅広いエッチング/アッシング操作を実行できます。この機器は最先端のグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、最も複雑なエッチング処理でも簡単に操作および監視できます。また、真空インターロック、圧力および酸素アラーム、圧力および温度センサーなど、ユニットの不要な動作を防ぐための多くの安全機能を備えています。全体として、PSC DES-106-254A Etcher/Asherは、エッチング、アッシング、その他の材料除去作業に最適な機械です。独自の機能、汎用性の高いアプリケーション機能、高度な安全システムにより、最も要求の厳しいプロセスでも信頼性とパフォーマンスを提供します。