中古 POLYFLOW S-314 #9378987 を販売中

POLYFLOW S-314は微細加工プロセス用のエッチャー/アッシャー装置です。精密なエッチングと洗浄を実現し、幅広い先進的な半導体タスクに対応します。このシステムは、最新の生産プロセスの高い要求を満たすように特別に設計されており、高いスループット、正確な制御、および最大限の柔軟性を可能にします。S-314には、エッチング、アッシング、パッシベーションプロセスを可能にする3チャンバーユニットが装備されています。このセットアップは、さまざまな基板サイズとプロセス工程に効率的で信頼性の高いプロセスを提供します。これらのチャンバー内の複合ガス分配機は、均一なプロセス結果を保証し、ツールは個々のプロセスごとにカスタマイズ可能です。POLYFLOW S-314は精密ロボティクスによって駆動され、自動的に積み下ろし作業をアーティキュラー精度と高スループットで行うことができます。このセットアップは、有機フォトレジスト、ハードベイクドレジスト、ポリイミド、金属など、幅広い基板と材料をサポートします。サンプルは、スパッタパラメータ、パターンサイズ、プロセス時間、プロセスシーケンスなどの特定の情報を事前にプログラムすることができます。アセットは、シリコンベースと非シリコンベースの両方の材料の高性能エッチングと洗浄のために設計されています。それは圧力、流れ、温度および力のような複数のガスそして変数の選択の配達を可能にするスロットル制御弁が装備されています。プロセス変数は、最大の歩留まりとパフォーマンスを達成するために、最小の分数まで調整することができます。さらに、S-314にはオペレータフレンドリーなユーザーインターフェイスが含まれており、すべてのモデル機能に簡単にアクセスできます。さらに、POLYFLOW S-314は、プロセスによる汚染を低減するための動的絶縁装置と、信頼性を高めるための安全機能を内蔵しています。システムの圧力、真空、温度などのパラメータは、直感的なコントロールパネルでリアルタイムに監視され、最適なパフォーマンスを保証します。ユニットはまた、モジュール設計のために必要に応じて低メンテナンスと部品交換のために設計されています。全体的に、S-314は微細加工プロセス用に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。そのスマートなデザインは、メンテナンスを最小限に抑え、異なる材料の高精度エッチングと洗浄のための効率的で信頼性の高いマシンになります。