中古 PLASMATHERM Waf'r Batch 74 #9050092 を販売中

PLASMATHERM Waf 'r Batch 74は、Plasma Therm LLCによって作成されたエッチャー/アッシャー装置です。<200µmと>200µmの厚いマスキング層の両方の精密エッチングとアッシングのために設計されています。バッチシステムは、プラズマエッチング用とアッシング用の2つのガス源で設計されています。ガス源はカスタムコントローラによって制御され、複数の圧力制御オプションを備えた単一または複数のサイクルのレシピを可能にします。このツールは、低磁界の熱分解グラファイト（PG）チャンバと堅牢な加熱冷却ユニットを備えています。PGは最適な真空環境を提供し、高いプロセス均一性を保証します。加熱冷却装置は、ウェーハ全体のセットポイントから数°C以内に温度が維持されるようにします。バッチツールはモジュラー設計を備えており、プロセス要件に応じて簡単にアップグレードできます。処理時間を短縮する高速負荷とアンロード資産を備え、真空制御とプロセス精度を有効にするための高度な真空モデルを備えています。それは正確なウェーハの位置および均一なエッチングおよびashingを保障するために高速、高リゾリューションのエンコーダーを収容します。バッチ機器で使用されるソフトウェアはユーザーフレンドリーであり、レシピを保存し、サポートされているツールにリモートアクセスとネットワーキング機能を持ち、レポートを生成するオプションをユーザーに提供します。バッチシステムには、多くの安全機能も備えています。これらには、緊急停止、インターロックユニット、パワーパネル、クーラントマシンが含まれます。緊急停止により、オペレータは緊急時に迅速にツールを停止することができます。インターロックツールは、オペレータのエラーや誤った使用を防ぎます。電源パネルは、資産を監視し、制御します。最後に、クーラントモデルは、温度を安全なレベルに保つのに役立ちます。PLASMATHERM Waf 'r Batch 74は、洗練された高度なシステムを使用して、<200µm層と>200µm厚層の両方の信頼性の高いエッチングとアッシングを提供します。これは安全で効率的なツールであり、オペレータがエッチングとアッシングプロセスを簡単に管理できます。