中古 PLASMATHERM VLR #9225838 を販売中

PLASMATHERM VLRは、PLASMATHERM Applied Technologyによって開発されたエッチングおよびアッシング装置です。この汎用性の高いマシンは、半導体、マイクロエレクトロニクス、太陽電池部品など、幅広い基板に対応するように設計されています。シンプルなものから複雑なものまで、さまざまな仕事に適しています。VLRは、統合ガスコンソール（IGC）、ガス処理コンソール（GPC）、自動ロード/アンロード、シングルチャンバーまたはマルチチャンバのプロセスチャンバーなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。IGCには、システムの簡単な操作とガス流量調整のためのデジタル表示が含まれており、エッチング/灰のレシピを正確に制御できます。GPCはガスの流れと圧力を管理し、最大15個のエッチング/灰レシピを保存できます。本機は、独自の高密度マイクロ波発電機によるプラズマエッチングと窒素アッシングの組み合わせを利用しています。これにより、堅牢な選択性とシャープな解像度で再現可能な結果を得ることができますが、カルーセルは基板の高速ロードとアンロードを可能にします。さらに、このユニットの遠隔診断能力は、迅速な検出と操作異常の治療を可能にします。PLASMATHERM VLRは、一貫した信頼性の高いパフォーマンスで再現性のある結果を提供する洗練されたエッチャー/アッシャーマシンです。ユーザーフレンドリーな設計により、オペレータはツールと直感的に対話することができ、迅速かつ効率的な操作により、ダウンタイムの削減とスループットの向上に役立ちます。この資産は、信頼性の高いエッチングとアッシング機能を求める半導体メーカーに最適です。