中古 PLASMATHERM VLR #9225837 を販売中

PLASMATHERM VLRは、複雑な3Dパターンをエッチングすることができる高精度の微細加工用に設計された先進的なドライエッチング装置です。このシステムは、高電圧プラズマを使用して基板からターゲット材料を制御して除去する、業界標準のリアクティブイオンエッチング（RIE）技術に基づいています。高いスペクトル輝度と高い電力密度を兼ね備えており、非常に高い精度と再現性を備えた超高速エッチングレートを実現しています。VLRは、非常に高い周波数の無線周波数（RF）発電機、ユニット制御ソフトウェア、および2つの独立した平面プラズマ源を持つ真空チャンバで構成されています。RFジェネレータに接続されているこれらの平面プラズマ源は、均質なプラズマ生成を提供し、複数の機能を備えた部品の高精度な微細加工を保証します。PLASMATHERM VLRは、多くの高アスペクト比の構造を含む幅広い材料で真空および反応ガス化学に適しています。酸化物エッチングと非酸化物エッチングの両方をサポートするように設計されており、異なる材料の高い選択性を達成することができるマルチプレーナーチャンバーの調整可能なバイアス電圧を備えています。このエッチングマシンは、アニール、パッシベーション、蒸着プロセスも可能です。このツールは、さまざまな形状に最適なエッチングパラメータを確保し、幅広い電力密度をサポートします。リアルタイム監視機能を搭載し、エッチングプロセスパラメータを正確に制御できます。ソフトウェアはまた、レシピ開発のためのユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供します。VLRは小さなフットプリントで設計されており、非腐食性材料を使用しているため、クリーンルームを含むほとんどの実験室の環境に容易に適応できます。また、完全に自己完結しているため、インストールと定期的なメンテナンスが簡単に実行できます。全体として、PLASMATHERM VLRは、常に高精度と高速を要求するアプリケーションに最適です。特徴の独特な組合せは再現性のある結果と、要求の厳しいプロジェクトを迅速かつ正確に微細加工するのに最適です。