中古 PLASMATHERM VLR #9205771 を販売中

PLASMATHERM VLRは、半導体、オプトエレクトロニクス、マイクロエレクトロニクス業界のさまざまなアプリケーション向けに設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。この汎用性の高い機械は、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）、プラズマアッシャー、および精密エッチングとアッシングを必要とするその他のプロセスに最適です。機械は3つの地帯の基づいた設計に基づいています、それは表面の汚染物を取除き、表面の損傷を防ぐためにガス酸素か活動化させた窒素が付いている最初の地帯の「前処理される」基質を可能にします。2番目のゾーンは、基板にエッチングされた特徴を適切に研磨するように設計されています。3番目のゾーンは不活性な雰囲気を提供し、同じ炉でエッチングとアニールを可能にします。この機械はプラズマ分野を作成するのに使用されるマイクロ波発電機が装備されています。これは、RF（無線周波数）技術を利用した従来のアッシャーよりもはるかに高い精度を提供します。マイクロ波電力を調整することができ、プロセス速度を最適化することができます。これにより、基板のずれを検出できず、即座にシャットダウンすることができます。また、リフトオフヘッドとベースプレートを追加することで、ニッケルと金の高い均質性を実現するために不可欠な真空環境でのアニールを可能にします。ベースプレートも直接加熱されるため、より高い温度均一性が得られます。VLRには高度なソフトウェアが搭載されており、ユーザーはプロセスのすべての側面を制御および監視することができます。また、多種多様なガスとの互換性があり、さまざまなエッチングおよびアッシング用途で使用することができます。これらの機能により、PLASMATHERM VLRはさまざまな業界にとって理想的な選択肢となり、ユーザーは最小限の労力で高い生産性と効率を得ることができます。また、この機械は信頼性が高く、プロセスが予測可能に再現可能であり、品質の結果が一貫して達成されることを保証します。これにより、この汎用性の高いシステムは、高いレベルの性能と精度を達成するための素晴らしい選択肢であることが保証されます。