中古 PLASMATHERM VLR #9205768 を販売中

PLASMATHERM VLRは、半導体およびウェハレベルの製造用に設計された高効率のエッチャー/アッシャー装置です。ダイレクトドライブプラズマジェネレータを搭載しており、最大3,000ワットの電力を生成でき、最大197°Cの温度に達することができます。VLRシステムは、精度と精度を備えたサブミクロンエッチングを提供するように設計されており、非常に高い均一性と歩留まりを備えた非常にクリーンなエッジプロファイルを提供します。PLASMATHERM VLRユニットには、高度なバッチ処理コントローラと環境制御ユニット（ECU）があり、正確な温度と洗浄規制を可能にします。VLR Machineは、超低電圧エッチングや1000 Hzのサーマルブラストなど、プロセスを最大限に制御するさまざまなプロセスオプションも提供しています。PLASMATHERM VLRツールは、銅、アルミニウム、トリトン20材料を含むいくつかの種類の材料で使用することができ、ユーザーは処理される小さな部品のさまざまなサイズから選択することができます。また、マスクシフトの自動化にも対応しており、必要に応じて迅速かつ正確なマスクシフトが可能です。このアセットはまた、ユニークな蒸気相エッチングモデルを提供し、ポリマーおよび酸化物層のプラズマ処理やTヒューズ反応を可能にします。VLR装置にまた炎トラップ、火災検出および火災警報を含んでいる広範な安全システムがあります。すべての安全対策は、ユーザーがユニットを使用している間、安全であることを確認します。PLASMATHERM VLR Machineには直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスがあり、プロセスパラメータの変更、バッチの設定、レシピの実行、エッチングプロセスの監視が簡単に行えます。利便性を高めるために、このツールはネットワークに接続することができ、他のシステムと通信することができます。VLR Assetには液晶ディスプレイ（LCD）もあり、エッチング中のプロセスを簡単に監視できます。結論として、PLASMATHERM VLRモデルは、半導体およびウェハレベル製造のための高効率で高精度のエッチャー/アッシャー装置です。ダイレクトドライブプラズマジェネレータ、高度なバッチ処理コントローラ、および環境制御ユニットを備えており、正確な温度と洗浄規制を可能にします。また、超低電圧エッチングや1000 Hzサーマルブラストなど、さまざまなプロセスオプションも提供しています。また、火炎トラップ、火災検知、火災警報などの安全機能を搭載しています。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスとLCDディスプレイにより、エッチング中のプロセスを簡単に監視できます。