中古 PLASMATHERM VLR #9156983 を販売中

PLASMATHERM VLRは、ハイスループット、精密エッチング、クリーニング用途向けに設計されたエッチャーおよびアッシャー装置です。このシステムは、先進的な製造プロセスに革新的なPlasmaPlusTM技術を採用しています。このプロセスは、リモートプラズマ、イオンビーム、O2-glycolプロセスのコロナ放電プラズマプロセスと酸素プラズマプロセスを組み合わせて、最高のエッチング分解能とクリーンなプロセス結果を提供します。VLRユニットは、ガラス、金属、セラミックスなど、さまざまな表面および基板の生産アプリケーションに最適です。このマシンは、高度なプロセス制御を可能にする使いやすいユーザーインターフェイスを備えています。On-Screen Wall Menuでは、複数のパラメータや機能にアクセスでき、使いやすいタッチセンシティブLCDタッチスクリーンで操作コマンドを簡単に実行できます。このツールは、強力な自動レシピエディタを備えており、経験豊富なオペレータのパラメーターをトーンダウンしたり、結果を設定したりすることができます。アセットは2つの相互接続チャンバーで構成されており、エッチング/クリーニングチャンバーを組み合わせて構成されています。最初のチャンバーは、2つの「プレート」、ボトムプレートとトッププレートで構成されるエッチングチャンバーです。ボトムプレートはガス入口の分散ラインに接続されており、反応ガス種を基板表面に供給する責任があります。トッププレートには基板表面にプラズマを発生させる電極が装備されています。第2の部屋はいろいろ異なったクリーニングの解決を提供するための据え付け品およびノズルが装備されているクリーニングの部屋です。PLASMATHERM VLRモデルは、反応種が効率的に基板に供給され、クリーンで再現性のあるプロセス結果が得られることを保証するために、高度でエネルギー効率の高い高密度プラズマ（HDP）ソースを採用しています。その他の高度な機能には、ガススイッチング、自動化されたレシピエディタ、高速プロセス時間、および低い所有コストが含まれます。全体として、VLRエッチャーおよびアッシャー装置は、ハイスループット生産環境における高度なエッチングおよび洗浄アプリケーションに強力なソリューションを提供します。システムの先進的なプラズマ概念とエネルギー効率に優れたHDPソース技術は、迅速なプロセス時間と低い所有コストで優れたプロセス結果を提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェース、直感的な操作、自動化されたレシピエディタにより、最高のエッチング分解能とクリーンなプロセス結果を迅速かつ簡単に達成できます。