中古 PLASMATHERM VLR #9139644 を販売中

PLASMATHERM VLRは、現代の工業プロセスの厳しい要求を満たすことができる最先端のエッチャー/アッシャーマシンです。VLRは、コストと時間要因を最小限に抑えながら、正確で繰り返し可能なプロセス結果を提供するように設計されています。PLASMATHERM VLRの大型ワーキングチャンバーは約63立方フィートを測定し、最大13。3 psigまで加圧されます。これにより、高温/圧力プラズマエッチング、反応イオンエッチング（RIE）、アッシングなど、幅広いプロセスが可能になります。このマシンは2段階の高圧DC電源を使用しており、パルスDCおよびパルスプラズマエッチングシーケンスを可能にします。また、交互の極性エッチングを行うことができるため、特定の材料をエッチングする際の効率が向上します。VLRは、エッチング率、表面状態、導電率を細かく制御し、あらゆる材料のエッチングとアッシングを可能にするように設計されています。また、エッチング/アッシング時間と投与量を正確に制御するための特許取得済みの複数開口放電システムも備えています。さらに、絶縁されたチャンバーガス容器ハウジングは、粒子の汚染を最小限に抑えるのにも役立ちます。このマシンのユーザーインターフェイスは直感的で使いやすく、グラフィカルディスプレイや数値データ表示などのさまざまな表示オプションが含まれています。ソフトウェアは、簡単なリコールとプログラミングの利便性のために10までのレシピを格納することができます。また、基材の正確なエッチングやアッシングを保証する自動チューニング機能も備えています。PLASMATHERM VLRの安全機能は、迅速な緊急停止機能のためのユーザーインターフェイスに緊急停止ボタンを備え、有毒な発煙、粒子、または蒸気を捕捉し安全に除去するための発煙封じ込めシステムも備えています。全体として、VLRエッチャー/アッシャーは、産業用エッチングおよびアッシングのニーズに最適です。精密なエッチング/アッシング機能、直感的なユーザーインターフェース、安全な操作を誇る高度な機械であり、さまざまなエッチング/アッシングのニーズに対応するのに十分な汎用性を備えています。また、コンパクトなサイズと低ノイズレベルのため、あらゆるサイズの施設での操作に最適であり、比較的低コストなため、多くのアプリケーションにとって費用対効果の高い選択肢となります。