中古 PLASMATHERM VLR #9139623 を販売中

PLASMATHERM VLR
ID: 9139623
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1996
RIE LM/TM systems, 6" 1996 vintage.
PLASMATHERM VLRは、高精度製造を可能にするさまざまな優れた機能を誇るエッチャー/アッシャーです。この装置は304ステンレス鋼、アルミニウムおよび陶磁器の部品を含む最上級の材料から、なされます。金属、ポリマー、誘電体など、さまざまな基板上で最大75nmのエッチング深度を達成できます。このシステムは高効率なシングルストリーム設計を採用しているため、マルチストリーム・システムのほんの一部のコストで最大限の精度を達成することができます。シングルストリーム設計により、クロス汚染のリスクも低減し、敏感な製品でも安全性が向上します。直感的なタッチスクリーンインターフェイスにより、使いやすくなります。選択可能なプラズマガス、3段エッチング、調整可能なドウェル時間、プログラム可能な出力など、プロセスを制御する幅広い機能を備えています。このユニットには、緊急シャットオフスイッチや調整可能な安全ガードなどの安全機能も含まれています。さらに、プラズマ診断機能を内蔵しており、プロセスを監視し、エッチング処理のステータスに関するフィードバックを提供します。VLRは一貫した、正確なエッチングを提供します。エッチングの品質を向上させる高速シフトモーションを備えています。調節可能な深さはエッチングを正確に制御することを可能にし、ユーザーは完璧な仕上がりを作成することができます。また、操作を簡単かつ快適にするユニークなデュアルヘルドコントロールマシンを備えています。このツールは環境に優しく、エネルギーを最大70%削減し、他のシステムと比較して廃棄物の出力を97%削減します。また、プラズマチャンバーは1つだけのため、メンテナンスが容易です。これにより、サービスおよび交換部品のコストを削減し、ダウンタイムを短縮できます。全体として、PLASMATHERM VLRは高度でハイテクなエッチャー/アッシャーで、最高の精度と効率を目指して設計されています。使いやすさ、安全性、効率性に優れた機能を備えています。そのコスト削減、高精度、およびトップエンドのパフォーマンスにより、あらゆる製造プロセスに最適です。
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