中古 PLASMATHERM VLN - Versaline #9124972 を販売中

PLASMATHERM VLN-Versaline etcher/asherは、ウェーハ、金属、シリコン基板などのさまざまな材料をエッチング/アッシュするように設計された精密制御ウェーハ処理機です。この機械は、高いレベルの制御と精度を兼ね備えたプラズマ源を使用して、優れたエッチング/アッシング結果を提供します。Versalineの重要な機能には、高精度制御、高速プラズマエッチング/アッシング、高度なプロセス制御機能があり、ウェハ処理が困難です。このマシンは100MHz RFジェネレータを使用して、最適なウェーハエッチング/アッシングのために最大900ワットのRF電力を生成します。機械の12ゾーンエッチング/アッシュチャンバーは、幅広い動作範囲を持ち、最適な処理純度のための温度を含むエッチング/アッシュパラメータを正確に制御できます。各ゾーンには独自のプロセス制御および圧力制御システムがあり、正確な結果を保証します。また、12ゾーンのベーキステーションを備えており、エッチング/アッシング前にウェーハを前処理することができ、ユーザーはより優れた均一性とプロセスの再現性を実現できます。Bakeステーションには、独自の温度および圧力制御システムが装備されており、より高い精度とより良い結果を得ることができます。Versalineのエッチング/灰の部屋は溶接された構造の良質アルミニウムから成り、剛性率、耐久性および優秀なプロセス性能を提供します。また、etch/ashパラメータのシンプルで効果的なプログラミングを可能にするプログラム可能なユーザーインターフェイスも備えています。さらに、ユーザーインターフェイスは、プロセス履歴を追跡し、リアルタイムでパフォーマンスを監視するのにも役立ちます。結論として、VLN-Versaline etcher/asherは、優れたエッチング/アッシング結果を迅速かつ正確に提供するように設計された精密制御ウェーハ処理機です。洗練されたマルチゾーンエッチング/アッシュチャンバー、プログラマブルユーザーインターフェース、エッチング/アッシング前にウェーハを前処理するためのベイクステーションを備えています。高品質な構造と高度な機能により、一貫した結果と高い顧客満足度を提供します。