中古 PLASMATHERM Versalock 700 #9355619 を販売中

ID: 9355619
ウェーハサイズ: 8"
PECVD System, 8" LM/TM Module Cassette to cassette load lock Robot transfer (6) Zones WATLOW Chamber heat controller ADVANCED ENERGY RF5S 500 W RF Lower electrode power supply With match work and tuner (4) Mass flow controllers.
PLASMATHERM Versalock 700は、精密な材料加工のための最先端のエッチャー/アッシャーです。超微細金属の痕跡から大規模な試作品まで、あらゆるプロジェクトの寿命を延ばす最新技術を活用しています。Versalock 700は、材料科学と研究および産業アプリケーションの両方に必要な汎用性と電力を提供します。PLASMATHERM Versalock 700は、機能的で使いやすく直感的なユーザーエクスペリエンスを提供する高度な人間工学的設計のコントロールパネルを備えています。正確な2。8 インチLCDカラータッチスクリーンを使用すると、機能の劣化を防ぐためにジョブを迅速かつ正確に構成および保存できます。382 MBの標準メモリ容量と大型グラフィックLCDを組み合わせることで、余分なハードウェアを必要とせずに最大40のプロセスプログラムを保存できます。高度な化学物質は、エッチングおよび研磨洗浄機能を多数備えています。パウダーブラストやエッチングなど、さまざまなウェットケミカルエッチングとアッシングのオプションが用意されています。すべてのPLASMATHERMシステムと同様に、超音波処理、自動ウェーハ転送、拡張ロボット操作などのカスタマイズ可能なクリーンアップオプションを利用できます。ボタンを押すだけで不要な素材をエッチングまたは焼き付けることができるVersalock 700は、効率的な操作に最適です。PLASMATHERM Versalock 700は、基板の損傷を最小限に抑えるためにゲート電極を備えた2つのバスを内蔵しています。各バスには3-Axis台のロボットが搭載されており、各ターゲットのウェーハを正確にデポジットして調整することができます。また、このロボットは基板から最大+1"の分離範囲を備えており、外部からの汚染をゼロにしています。さらに、Versalock 700は、プロセス効率を向上させるために、高電流と標準電源構成を切り替えるようにプログラムすることができます。PLASMATHERM Versalock 700は、クラス10のクリーンルームに収容されており、完全に密閉された、汚染のない作業環境を可能にします。この装置には、標的材料のみに均等に影響を与える統合ダイオードレーザーが装備されているため、追加の電源が不要です。さらに、Versalock 700は、エッチングシステムのガス交換に伴う時間とコストを排除します。多数のカスタマイズ可能なオプションを備えた効率的なエッチング/アブリングマシンの場合、PLASMATHERM Versalock 700が優れた選択肢です。直感的なデザインと使いやすい機能により、エッチングやアブレーション作業に最適です。
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