中古 PLASMATHERM Versalock 700 #9355618 を販売中
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ID: 9355618
ウェーハサイズ: 8"
Reactive Ion Etcher (RIE), 8"
LM/TM Module
RIE Module
Cassette to cassette load lock
Robot transfer
LEYBOLD 361C Turbo pump with controller
MKS Throttle valve with controller
ADVANCED ENERGY RF10S 1000 W RF Lower electrode power supply
With match work and tuner
(4) Mass flow controllers.
PLASMATHERM Versalock 700は、さまざまな基材やプロセスに使用される高品質のエッチング/アッシュツールです。この精密な装置は、さまざまなサイズの基板を使用する場合、再現可能な精度と均一性を保証します。それは独特な人間工学的のぬれたベンチの設計を特色にし、安全な労働環境を維持しながらユーザーの慰めを最大にします。Versalock 700は幅広いプロセスウィンドウを提供し、エッチングまたはアッシング時に高忠実度の結果を得ることができます。PLASMATHERM独自のVersaLock™モード選択機能により、最大4つの基板のマルチモード処理用にシステムを一度に構成できます。これにより、すべての基板に一貫したエッチング/アッシュが保証され、均一性と信頼性が向上します。高度なエッチング技術を使用して、PLASMATHERM Versalock 700は、プロセスパラメータを一貫して均一に保つ機能を備え、生産ライン環境において精密かつ再現性があります。適応性の高いプロセス制御機能により、スループットと精度を最大限に高め、高品質な結果を提供します。Versalock 700はまた、エッチング/灰プロセスを特定のアプリケーションに合わせてカスタマイズするように設計された幅広いアクセサリーを提供しています。これには、サンプルホルダー、サンプルラック、プロセスモニタリングセンサー、マスフローコントローラが含まれます。また、オプションの超低圧力エッチングを備えており、微細な機能や繊細な基材に最適です。PLASMATHERM Versalock 700はまた、ユーザーを害から保護するための包括的な安全マシンを備えています。これには、加熱ガスの脱出を防ぐドライキャビネット、過熱を防ぐためのサーマルカットアウトツール、圧力レベルが所定の限界を超えると解放されるように設計された圧力インターロックが含まれます。結論として、Versalock 700は高度なエッチング/アッシュツールであり、さまざまな基板材料およびプロセスに精密で反復可能な結果を提供します。プロセスパラメータのウィンドウが広いため、ユーザーは特定のアプリケーションにエッチング/アッシュプロセスを調整することができます。また、リスクや危害からユーザーを保護するための広範な安全資産も備えています。
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