中古 PLASMATHERM Versalock 700 #293729350 を販売中
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ID: 293729350
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1998
Reactive Ion Etcher (RIE), 4"
Dual chamber
(2) NESLAB Chillers
(3) EDWARDS iQDP80 Pumps
Process module: CF4 / N2 / CHF3 / AR / SF6 / O2
RF1, RF2 (RFPP RF5S)
Loadlock
Handler
VAT gate valve
Transfer robot
Throttle valve
Manuals
Cortex computer and software
Operating system: Windows 10
1998 vintage.
PLASMATHERM Versalock 700は、金属エッチングおよびガラスエッチング用途向けに設計された、高性能、セラミックベース、熱、エッチング/アッシングマシンです。このマシンは最大700°Cの温度範囲を持ち、超精密な減算プロセスやウェーハのメンテナンスなど、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に特化して設計されています。高密度インターコネクト（HDI）回路、超薄型デバイス、組込みメモリ構造など、超微細加工プロセスに優れた精度と再現性を提供します。Versalock 700は、クローズドループのアクティブコントロール装置を使用して、エッチングおよびアッシングプロセス中に精密で一貫したサーマルサイクルを提供します。アクティブなクローズドループシステムは、最も要求の厳しいエッチング用途に必要な正確な温度制御を可能にします。さらに、加熱ユニットの制御性により、非常に低い温度係数の分散で再現可能な結果が得られます。この低い分散係数は、高精度の熱エッチング処理に必要です。この高度なエッチング機には、エッチングとアッシングの2つの独立したセクションがあり、それぞれに個別の熱制御があります。また、すべての加熱素子が任意のプロセスが開始する前に設定された公差内で動作することを保証する自動校正機を備えています。さらに、PLASMATHERM Versalock 700は自己監視機能を備え、資産の故障やその他の問題をオペレータに警告するアラームツールを備えています。この最先端のエッチングマシンは、900um/minの最大モデル処理能力を備え、生産性と効率性に優れています。出力は、エッチング温度をオペレータに完全に制御させる高度なオンボードPIDタイプのパルス変調装置によって制御および維持されます。さらに、サーマルサイクラーを内蔵することで、サーマルサイクルの正確な制御が可能になり、システムの総アイドル時間も短縮できます。Versalock 700の広々としたワークチャンバーは、8インチまでの大きなウェーハに十分なスペースを提供します。また、フタとベースの間にセラミックロッキング機構を備えており、プロセスチャンバーを適切に洗い流すことで、最適な熱伝達と一貫したエッチング結果が得られます。PLASMATHERM Versalock 700はコンパクトで頑丈で信頼性が高く、R&Dまたは生産環境での動作を想定して設計されています。さまざまな特殊プロセスと互換性があり、1年間の保証に裏打ちされています。Versalock 700は、精度と一貫性を最大限に発揮し、高出力で使いやすい操作性を兼ね備えた汎用性の高い高性能エッチング/アッシング機です。この機械は、要求の厳しいエッチングおよびアッシングプロセスに最適です。
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