中古 PLASMATHERM Versaline #9402602 を販売中
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PLASMATHERM Versalineは、半導体および関連産業のリソグラフィープロセスに適したエッチャーおよびアッシャー装置です。Versalineは、広範囲の集積回路エッチングおよびアブレーションプロセスで、クリーンで正確、再現性のある高性能な結果を提供するように設計されています。このシステムは、革新的な高密度プラズマおよびエレクトロオプトレーザー技術を使用して、わずか数ミリ秒で強力な結果を提供します。さらに、Versalineマシンは、幅広い元素および複合材料をエッチングする卓越した機能を提供し、SOI、 PDSOI、 DRAM、およびフラッシュメモリなどのさまざまな集積回路技術に適しています。その強力な性能とは別に、PLASMATHERM Versalineツールは、統合されたOPCおよびリソグラフィ、高度な製品制御、In-Situモニタリング、プロセス効率の向上と製品品質の向上のための清潔性の保証などの高度な機能も提供します。このアセットには、重要なプロセスデータをリアルタイムで簡単に監視、分析、レポートできるデジタル管理モデルも組み込まれています。この機能は、特定のエッチングおよびアブレーション操作の高速かつ正確な特性評価をサポートし、迅速なプロセス最適化を可能にし、デバイス製造の速度と精度を向上させます。要するに、Versaline装置は、クリーンで正確、再現性があり、高性能な結果を迅速かつ効率的に提供できるため、半導体および関連産業にとって理想的な選択肢です。高度な機能、優れた性能、高速プロセス最適化機能を備えたPLASMATHERM Versalineは、集積回路設計のエッチングに最適です。
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