中古 PLASMATHERM Versaline #9254667 を販売中
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ID: 9254667
ウェーハサイズ: 3"-8"
ヴィンテージ: 2011
CVD System, 3"-8"
(3) Chambers
(2) PECVD Chambers
HDP-CVD Chamber
(3) Power modules
BROOKS AUTOMATION MX 600 Handler station
2011 vintage.
PLASMATHERM Versalineは、半導体製造および研究産業における幅広い用途向けに設計された先進的なエッチャー/アッシャー機械です。バッチとシングルウェーハアプリケーションの両方に適しており、コンパクトなサイズはスペースが限られたラボに最適です。Versalineは卓越した精度と柔軟性を提供し、ユーザーはさまざまなエッチングおよびアッシング技術にアクセスできます。多段エッチングプロセス、過圧保護、均一制御、自動クリーニングモードなど、さまざまな特殊機能を備えています。このマシンはまた、複数のソフトウェアパッケージをサポートする近代的な制御装置を備えており、さまざまな設定で使用することができます。ほとんどのアッシングシステムとは異なり、PLASMATHERM Versalineは完全に密閉されたチャンバーで動作するように設計されています。この革新的な真空シール技術は、容器を汚染する可能性のある粒子やガスを排除し、出力の品質を向上させるのに役立ちます。このシステムには強力なプロセスセクションがあり、ユーザーに希望の結果を達成するための幅広いオプションを提供します。ガス供給と排気ユニットを備え、様々な暖房機能を備えています。これにより、圧力、流量、温度など、多くのパラメータを信じられないほどの精度で制御することができます。回転ステージと組み合わせると、さまざまな基板でエッチングやアッシングに最適です。その高度なソフトウェアスイートのおかげで、Versalineはシームレスな生産ラインを形成するために他のシステムと簡単に統合することができます。さらに、クリアメンテナンスモードにより、制御機内からのモニタリングやメンテナンスを便利に行うことができます。これにより、ツールや基板に損傷が発生する前に、異常をすばやく特定して修正することができます。PLASMATHERM Versalineは、信頼性が高く正確なエッチングとアッシング機をお探しのお客様に最適です。そのユニークな機能と簡単な操作は、競合他社のほとんどに優位性をもたらし、どのラボでも検討する価値があります。
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