中古 PLASMATHERM Versaline #293623685 を販売中

PLASMATHERM Versalineは実験室および企業の専門家の必要性を満たすように設計されている多目的なエッチングおよびashingエッチング装置です。Versalineは、高品質のエッチングに必要な信頼性、再現性、高精度のエッチングおよびアッシングプロセスと、商業生産に必要な革新的な設計およびクローズドループのプロセス制御機能を組み合わせています。PLASMATHERM Versalineは、13インチのハイコントラスト液晶タッチスクリーンディスプレイを備えており、操作が簡単で、最大8つのワークステーションをサポートして生産スループットを最大化します。MGC （Multi-Gas Control）システムは、特定のプロセス要件を満たすために不活性ガスと反応性ガスの間で柔軟に選択できます。Versalineの包括的な生産監視およびトラッキングユニットにより、ユーザーはエッチングおよびアッシングプロセスのすべての側面を最初から最後まで正確に監視および制御できます。PLASMATHERM Versalineは、2段階の誘導結合プラズマ（ICP）源によって駆動され、最適なエッチングとアッシング性能を発揮します。Versalineは、最先端のデジタル電源を使用して、最大3,000ワットの電力を供給し、エッチングおよびアッシングプロセスを優れた制御を実現します。PLASMATHERM Versalineの細かく調整可能な電気機械式モーションマシンは、ウェーハの正確な位置決めを保証します。Versalineは、ハイスループット生産と均一なエッチング/アッシング結果のための均一なプラズマ密度を備えたさまざまなワーキングチャンバー形状を提供します。PLASMATHERM Versalineは、品質のエッチングとアッシングの結果を保証するためにステンレス製のチャンバーで設計されています。Versalineは、高貴なガス、ハロゲン化物および希土類化合物を含むが、これに限定されない処理が可能である。チャンバーカバーはエッチング発煙や粒子状物質を含むように設計されており、これまでエッチングされたウェーハの汚染を最小限に抑えています。PLASMATHERM Versalineには、汎用性と高性能のオプションも用意されています。Versalineの統合制御ツールは、ユーザーがプロセスレシピをカスタマイズし、将来の実行のためにそれらを思い出すことができます。オンボードアナライザは、エッチングおよびアッシングプロセス中にチャンバーのガス組成を監視し、最適なプロセス制御を行うことができます。PLASMATHERM Versalineはまた、品質の結果を保証し、プロセスの一貫性を最大化するために、内蔵の診断および分析機能を備えたプロセス監視モジュールを備えています。Versalineは、実験室や工業生産環境の要件を満たすように設計された革新的なエッチングおよびアッシングエッチング資産です。PLASMATHERM Versalineの高度なオペレーティングモデル、精密プロセス制御、モジュール設計により、信頼性、再現性、正確なエッチングおよびアッシング結果に最適です。