中古 PLASMATHERM Versaline #293621803 を販売中
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ID: 293621803
ヴィンテージ: 2014
ICP-RIE System
Missing parts:
Valves
Elevators
Power supplies
Generators
Pumps
2014 vintage.
PLASMATHERM Versaline etcher/asherは、優れた部品エッチング、ウェーハ洗浄、表面処理機能を提供するために設計された高度なプラズマエッチングおよび灰装置です。このシステムは、エッチング/アッシュソリューション業界の特定のニーズや傾向に合わせてカスタマイズできるモジュラーコンポーネントで構成されています。Versalineのプロセス部屋は304ステンレス鋼およびPFAはさみ金から成っています。このエッチャー/asherは真空密封された、ガス堅くおよび酸抵抗力がある信頼でき、安全な操作を保障するためにです。強力な電界発電機は、さまざまな動作温度と圧力レベルの酸素または窒素大気中のプロセスチャンバーにプラズマを作成します。このプラズマは、金属、合金、セラミック、半導体に複雑な形状、凹凸、パターンを高精度で再現性のあるエッチングすることを可能にします。エッチング処理は、通常、有機溶媒によるエッチング、ウェット酸化、反応イオンエッチング（RIE）などの一連の化学プロセスによって行われます。「ウェットケミカルエッチング」と「リアクティブイオンエッチング」の2つのエッチング技術を提供しています。さらに、ヴェルサリンは、工業部品の調製に有益な湿式および乾式エッチングプロセスを併用しています。このエッチャー/アッシャーは、化学的および機械的汚染物質の両方に耐性があり、化学機械的研磨（CMP）やプラズマ処理など、さまざまな用途で使用できます。PLASMATHERM Versalineはまた、高感度、高精度、およびエッチング速度と深さを正確かつ再現的に制御する能力などの要因の組み合わせにより、優れた表面処理性能を提供します。全体的に、Versaline etcher/asherは高度なエッチング/灰の解決の必要性を満たすように設計されている高度で、信頼できる機械です。化学機械研磨やプラズマ加工に加え、精度と再現性に優れた多彩なエッチングとアッシュ機能を提供します。
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