中古 PLASMATHERM Versaline #293602359 を販売中

PLASMATHERM Versalineは、精密で高度なエンジニアリングで設計された洗練されたエッチャー/アッシャーで、強力なエッチングとアッシング性能を提供します。Versalineは、最新の独自のin-situプラズマを搭載し、最高レベルのエッチングとアッシング精度と再現性を実現します。その柔軟性により、異なるウェーハ材料およびサイズの迅速な処理が可能になり、ガスの流れ、圧力、およびプラズマ点火パラメータが自動的に変化し、高いプロセス品質を保証します。PLASMATHERM Versalineの高度な機能とコントロールにより、エッチング/アッシュ領域と深度の両方を微小化し、さまざまな材料でチューニングすることができます。酸素または塩素を使用して、エッチャー/アッシャーは、シリコン、ゲルマニウム、シリカおよびガラス、GaAs、窒化ケイ素および多結晶ダイヤモンドを含む多くの材料タイプに最適です。Versalineは、BCD （Base Configuration Device）コンソール、統合されたハードウェアプラットフォーム、および彫刻されたポートフェイスプレートで構成され、高度なプロセス制御技術を使用して、換気、不活性または酸化雰囲気、大きなプラズマアレイ、ガス制御を提供します。さらに、システムのイオンエノックシステム、加熱されたサセプターおよび統合されたE-ガンシステムが連携して、プロセスの差別化を最適化し、汚染を最小限に抑えることができます。Flexible Modular Control （FMC）技術により、PLASMATHERM Versalineは、エッチングおよびアッシングパラメータの均一性と安定性、およびリアルタイム監視およびプロセス制御を実現します。システムには、プロセスを迅速に修正できるように、異常な状況を通知するための振動アラートシステムも内蔵されています。多種多様なトランスファーモジュールにより、レシピの柔軟な実装、効率的なサンプル処理、等方性エッチング、リアクティブイオンエッチング（RIE）、デュアル周波誘電エッチング、絶縁エッチングなど、さまざまなプロセスコンポーネントを組み合わせることができます。また、エッチャー/アッシャーは、自動化されたハンドラを備えたウェハートランスポートをサポートし、1バッチにつき最大8個のウェハを製造できます。全体として、PLASMATHERM Versalineは、信頼性の高い反復可能な性能と正確な制御を可能にする強力で革新的なエッチャー/アッシャーです。Versalineは豊富な機能を備えており、優れたプロセス品質と幅広い用途に対応できる優れた機能を提供します。