中古 PLASMATHERM / UNAXIS VLR #9205770 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS VLRは、大型基板の加工用に設計された独自のドライエッチング/アッシングツールです。この装置は、直径300mmまでの基板を加工するように設計されており、最大エッチング速度は10ミクロン/分で、大量生産の最高需要を満たすことができます。UNAXIS VLRは、大量生産能力に加えて、優れた表面機能、高い生産性、低ランニングコストを提供します。このシステムは、酸化物ベース、誘電体、有機、高分子材料など、さまざまな基板材料を処理することができます。汎用性の高いチャンバー構成により、プラズマ重合、プラズマエッチング、ドライエッチング、表面活性化、金属エッチングなど、さまざまな制御エッチング処理も可能です。このユニットはまた、さまざまな種類の基板のシーケンシャルエッチングプロセスの可能性を提供し、複雑な構造と3Dジオメトリを持つデバイスの生産を可能にします。マシンのユニークな機能セットは、最高水準の品質と性能を満たすように設計されています。そのデュアル真空チャンバーは、効率的なプロセス時間と一貫した高スループット性能を提供します。高度なプロセスコントロールモニタリングツール（PCMon）は、再現性の高い精密プロセスを保証します。また、オプションのCAD互換性により、工具交換を迅速に行い、スループットを最大化できます。さらに、この資産は、CE Mark、 EU-EMC指令、UL/CSAなどの幅広い認証および安全基準と互換性があります。PLASMATHERM VLRには、堅牢なオンボードユーザーインターフェイスと、ネットワークシステムに接続するための複数のデジタルI/Oポートが付属しています。統合された診断モデルとオペレーティングソフトウェアは自動化されたセットアップと操作を提供し、リアルタイムのトレンドとデータロギングはプロセスパラメータとステータスを完全に制御します。さらに、この装置には、安全インターロック、シールドガス、および環境に優しいソリューションのための酸化抑制剤が備わっています。全体として、VLRは大量生産に最適な高度なエッチャー/アッシャーです。これは、高性能な機能、直感的なユーザーインターフェイス、および環境に優しいソリューションのユニークな組み合わせを提供します。基板とプロセスの広い範囲で、システムは、精密制御とそのエッチングとアッシング操作の再現性を必要とするユーザーに最適です。