中古 PLASMATHERM / UNAXIS VLR #9139629 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS VLRは、一般的に半導体加工やその他の用途に使用されるエッチャー/アッシャーの一種です。高温プラズマジェットなどの集積部品を利用して、1時間あたり数百枚のウェハを処理することができます。装置全体がユーザーフレンドリーでありながら効率的であるように設計されており、さまざまな安全機能により、ホームラボだけでなくプロフェッショナルな設定にも適しています。UNAXIS VLRには高精度の平面導波路が含まれており、大気と真空システムの両方に開放されている液体生産性チャンバーに非常に集中したプラズマジェットを送ります。プラズマジェットは1000°Cを超える温度に達することができ、ウェーハの表面から材料を除去するために使用されます。液生産性チャンバーは、チャンバー内の温度と腐食環境を制御するための独立した再循環液体の供給を含む300mm石英容器です。このユニットには、統合された冷却モジュールとコンピュータインターフェイスが含まれており、ユーザーはエッチング処理をプログラムして監視することができます。冷却モジュールは、エッチング処理が完了した後に基板を急速に冷却するのに役立ち、迅速かつ効率的な生産サイクルを可能にします。コンピュータインターフェイスは、マシンのプログラミングだけでなく、リアルタイムの監視とデータロギングも可能です。そのため、ユーザーはプロセス条件と結果の両方を監視し、最高レベルの精度を維持することができます。最後に、PLASMATHERM VLRは、ウェーハまたはユーザーへの損傷のリスクを最小限に抑えるために、幅広い安全機能を備えています。これには、エッチング工程で使用される腐食性の化学物質との接触を防ぐクローズドツールと、資産が安全かつ効率的に機能していることを保証する複数の統合センサーが含まれます。全体として、VLRは効率的で信頼性の高いエッチャー/アッシャーであり、1時間あたり数百のウェーハを正確に処理できます。高温プラズマジェット、冷却モジュール、統合された安全機能、およびコンピュータインターフェースのおかげで、プロフェッショナルと家庭の両方の設定に適しており、ユーザーに高精度のウェーハを製造するために使用できる効果的で効率的なモデルを提供します。