中古 PLASMATHERM / UNAXIS VLR 700 #9075710 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9075710
ウェーハサイズ: 8"
ICP System, 8"
Single chamber
Front end
Robot
ICP Process module
Equipped with ICP source
(8) Gas channels
Transfer module: HINE 4.5 robot
Load module: Dual cassette platform, 8"
PLASMATHERM Design
Wafer mapping sensors
Mag lev turbo
Turbo controller
Process baratron.
PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700は、高精度で迅速かつ正確にマイクロマシンの困難な材料に設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。リニアドライブシステム、強力な真空チャンバー、耐久性のある低温プラズマヘッドなど、幅広い先進的なエッチャー/アッシャー技術を備えたクラスで最も先進的な製品です。リニアドライブシステムにより、スムーズな操作と高速で正確な加工が可能です。熱膨張による歪みや不整合を解消し、極めて敏感な材料でも信頼性の高い動作を保証します。高精度の真空チャンバーは、優れたプロセス制御と再現性、調整可能なガスフロー、および調整可能な圧力レベルを提供します。これにより、材料廃棄物を最小限に抑えながら、均一なエッチングとアッシングが保証されます。プラズマヘッドは、低温プロセスと高温プロセスの両方に一貫した温度制御を提供します。反応ガスを正確に供給するための自己整列ノズルと、精密フィードバック制御を備えており、各プロセスが最大限の精度で最適に設定されていることを確認します。さらに、プラズマヘッドは、汚染を最小限に抑え、ツールの寿命を延ばし、きちんとした結果を保証するように設計されています。様々なエッチングやアッシング加工に対応した多種多様なチャンバー材料を採用しており、卓越した精密微細加工を実現しています。調節可能なレシピパラメータとソフトウェアオートメーションを備えているため、プロトタイプの生産と大量の操作の両方に最適です。このツールはまた、簡単な操作とメンテナンスのために設計されており、ユーザーは迅速かつ簡単にメンテナンスを実行することができます。全体として、PLASMATHERM VLR 700は、ユーザーに比類のないパフォーマンスと精度を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。リニアドライブシステム、強力な真空チャンバー、精密プラズマヘッド、調整可能なレシピパラメータ、さまざまなタスクに適したソフトウェアオートメーションなど、幅広い機能と機能を提供します。シンプルな操作とメンテナンスのために設計されており、無駄を最小限に抑えながら高精度と再現性を実現します。
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