中古 PLASMATHERM / UNAXIS Versalock #293804241 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS Versalockは、半導体、MEMS、薄膜加工用に設計されたエッチャー、アッシャー、プラズマクリーナーです。このツールは、独自のオープンカソード型プラズマチャンバーと複数のプロセスフローで構築されており、繊細な構造のエッチングとアッシングのための最も汎用性が高く効果的なツールの1つです。この装置は、プラズマエッチングおよびアッシングプロセスの優れた精度のための新しい特許取得済みの「ドライエッチロックダウン」システムを備えています。高温のUNAXIS Versalockエッチングユニットは、最大200mm、最大12のエッチング/アッシュステージの基板サイズに対応するように構成可能です。ユニークなオープンカソード設計は、イオン密度、プラズマパラメータ、プロセスパラメータの精密制御を提供するために最適化されています。この機械は、すべてのタイプのプラズマ化学およびガス混合物のために構成された統合された高温熱処理チャンバを提供します。PLASMATHERM Versalockは、極めてシャープなエッジ定義、最小プロファイル疲労、低レベルのエッチング選択性を提供します。このツールは、特許取得済みのデュアルステージの高温アッシングプロセスを備えており、堆積物を基板レベルまで徹底的に除去します。Versalockアセットはまた、統合されたビジョンモニタリングとウェハーマッピングを提供し、プロセス結果の正確な特性評価と高度なプロセス変更を実現します。高度なレシピマネージャは、結果の均一性を提供し、実験に費やす時間を最小限に抑えるために含まれています。PLASMATHERM/UNAXIS Versalockの高度な測定および分析機能は、リアルタイムデータログとパラメータ最適化によってさらに強化されています。オプションの高分解能分光計は、プロセス結果のスペクトル分析を提供し、製品性能の正確な特性評価を保証します。製品の一貫性、製品の精度、トレーサビリティを保証する自動テストモデルが含まれています。UNAXIS Versalockエッチャー、アッシャー、プラズマクリーナーは、微細構造、MEMS、および微細な分子エッチング/アッシングプロセスに最適です。独自のオープンカソード設計により、クロスコンタミネーションを排除し、エッジ定義を強化し、エッチングの均一性を向上させます。短いスキャン時間と強力な試験装置ツールにより、多目的で効果的なエッチングとアッシュツールとなります。革新的なドライエッチロックダウンシステムにより、PLASMATHERM Versalockは競合他社の中でも本当に際立っています。